SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
SIC Epitaxial модулі SIMICOREX-тен беріктік, тазалық, тазалық және дәл инженерия, бұл SIC эпитаксиалды өсуінде маңызды компонент болып табылады. Қапталған графитті ерітінділерде семестрді таңдаңыз және талап етілетін ортада ұзақ мерзімді жұмыс істеу үшін таңдаңыз. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex жоғарғы жарты ай - бұл эпитаксиальды реакторларда қолдануға арналған жартылай дөңгелек өлшемді графикалық гипсептор. Өнеркәсіптік-материалдық тазалық, дәл өңдеу, дәл өңдеу, ұзақ уақытқа созылған және жоғары вафлидің сапасын қамтамасыз ететін біртұтас материалдарды таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SIC ҚОСЫМША Ватфер-тасымалдаушылар - бұл жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестер кезінде оңтайлы вафлиді қолдауға арналған жоғары сапалы графикалық сезіморлар. Дүниежүзілік жабынның сапасы, дәл өндіріс үшін Subicorex таңдаңыз және бүкіл әлем бойынша жетекші жартылай өткізгіштіктер сенімді дәлелденген сенімділікті таңдаңыз. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SIC Қалған вафли-эксепторлар - бұл өте қысымсыз жағдайларда ультратин пленкасы үшін арнайы жасалған тасымалдаушы. Жетілдірілген материалдармен, дәлдікпен, кеуектілікпен күрделі бақылау және сенімді SIC жабыны технологиясымен Subicorex алдыңғы қатардағы жартылай өткізгішті өндірістің даму қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін өнеркәсіптік-жетекші сенімділік пен теңшелім береді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex 8 дюймдік уақтағы сақиналар агрессивті термиялық және химиялық ортада дәл вафлиді және ерекше көрсеткіштерді қамтамасыз етуге арналған. SubicoreX қосымшаның арнайы инженерлік, тығыз, тығыз, тығыз бақылау және дәйекті өлшемді сапа сапасын жетілдірілген жартылай өткізгішті өңдеудің қатаң талаптарына сай келеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex RTP SIC жабындары - жылдам термиялық өңдеу орталарын талап ететін жоғары сапалы вафли тасымалдаушылары. Жетекші жартылай өткізгіш өндірушілердің сенген, Subicorex жоғары жылу тұрақтылығы, беріктік және ластануды бақылау және ластануды бақылау, сапа стандарттары мен дәл өндіріспен қамтамасыз етілген. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу