Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температураға және химиялық төзімділікке ие, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC керамикалық компоненттері жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз вафли өңдеу жабдығына арналған шығын материалдарының бөліктерінен бастап, мысалы, кремний карбиді вафельді қайық, консоль қалақшалары, түтіктер және т.б. Epitaxy немесе MOCVD үшін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидінің (SiC) құрылымы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, эпи қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін тіпті термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Консольдық қалақ →
Консольдық қалақ - жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD пештерінде диффузия және RTP сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент.
Процесс түтігі →
Процесс түтігі RTP, диффузия сияқты жартылай өткізгіштерді өңдеудің әртүрлі қосымшаларында арнайы әзірленген маңызды құрамдас бөлігі болып табылады.
Вафельді қайықтар →
Вафельді қайық жартылай өткізгішті өңдеуде қолданылады, ол өндірістің маңызды кезеңдерінде нәзік вафлилердің қауіпсіз сақталуын қамтамасыз ету үшін мұқият әзірленген.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Semicorex сонымен қатар алюминий тотығы (Al2O3), кремний нитриді (Si3N4), алюминий нитриді (AIN), цирконий (ZrO2), композиттік керамика және т.б. керамикалық өнімдерге ие.
Semicorex SiC қапталған газды бұру дискілері реакциялық газ ағынын реттеу және реакция камерасында газдың біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін арнайы әзірленген жартылай өткізгіш эпитаксистік жабдықта қолданылатын таптырмас графит компоненттері болып табылады. Semicorex таңдаңыз, жоғары сапалы пластинаның эпитаксиалды нәтижелері үшін оңтайлы газды бұру шешімдерін таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC Wafer Carrier 3D басып шығару технологиясы арқылы жоғары таза кремний карбиді керамикадан жасалған, яғни ол қысқа уақыт ішінде жоғары бағалы өңдеу компоненттеріне қол жеткізе алады. Semicorex біздің әлемдік тұтынушыларымызға жоғары сапалы өнімдерді ұсынады деп есептейді.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex CVD SiC қапталған үстіңгі жер үсті сақиналары күрделі плазмалық сызу жабдығы үшін арнайы әзірленген сақина тәрізді маңызды компоненттер болып табылады. Жартылай өткізгішті құрамдастардың саладағы жетекші жеткізушісі ретінде Semicorex жоғары сапалы, ұзаққа созылатын және өте таза CVD SiC жабыны бар үстіңгі жер үсті сақиналарын жеткізуге назар аударады, бұл біздің құнды тұтынушыларымызға операциялық тиімділік пен жалпы өнім сапасын жақсартуға көмектеседі.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC тығыздағыштар - ең талап етілетін айналмалы жабдық ортасында тозуға төзімділікті, термиялық тұрақтылықты және әмбебап химиялық инерттілікті қамтамасыз ету үшін жасалған жоғары өнімді механикалық бет компоненттері. Semicorex - әлемдік тұтынушылар үшін жоғары дәлдіктегі өнімдерді жеткізе алатын кәсіби SiC керамикалық материалдар жеткізушісі.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC Pedestal - жоғары дәлдіктегі, көп функциялы аппараттық құрал компоненті, озық микроарналық реакция жүйелері үшін қажетті жылу тұрақтылығы мен күрделі сұйықтықтың таралуын қамтамасыз етуге арналған. Semicorex компаниясы тұтынушылардың қажеттіліктеріне сәйкес осы жоғары таза SiC тұғырларын әзірлеуге және жеткізуге маманданған.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex глиноземді вафельді жылтырату пластиналары жоғары сапалы жартылай өткізгіш өнеркәсібінде вафельді жылтырату процесі үшін арнайы әзірленген алюминий тотығы керамикасынан жасалған жоғары өнімді жылтырату компоненттері болып табылады. Semicorex таңдай отырып, үнемді бағасы, ерекше беріктігі және жоғары тиімді өңдеу өнімділігі бар өнімдерді таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу