Эпитаксиальды реакторларға арналған графит тасымалдаушы

Эпитаксиальды реакторларға арналған жартылай вагон тасымалдаушысы - жартылай өткізгішті өндіріске арналған эпитаксиальды тұндыру үшін инженерлік компонент. Бұл графит тасымалдаушы жоғары тазалық графиттен жасалған және SIC-пен біркелкі қапталған. Бұл тасымалдаушы жауапкершілікті азайтып, тозып, жыртып, коррозиялық ортада және сонымен қатар жоғары температурада жақсы химиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Төменгі бетіне Boutyyyyyyyla тығыз микроавтобус вафли бетіне біркелкі газды таратуды қамтамасыз етеді, бұл ақысыз кристалдар қабаттарын шығаруға жеткілікті мөлшерде болуы керек.

SIC жабылған тасымалдаушы көлденең немесе тік эпитактикалық реакторларға, партияға немесе жалғыз вафлиге бағытталған. Графитті кремний карбидімен қорғайды, дастарқандар тотығуға төзімді жақсартады, сондай-ақ терминдік революциямен салыстырғанда термиялық шок, сонымен қатар, жақындаған графитті төңкеріспен салыстырғанда, жылу циклінің әр кезеңінде кеңейтілген қызмет көрсету / тасымалдаушыға ауысуы мүмкін / инвестициялау; Шелектен немесе төмендетілген тоннаны тездету немесе «Тасымалдаушыдан» беделді полимерлерден асығыңыз, мүмкін, мүмкіндігінше бір рет ауыстырылады; Пренатальды немесе жоспарланған техникалық қызмет көрсетудің орнына жұмыс істейтін тиімді технологияларды барынша арттыру.

Базалық графит субстраты ультра жұқа дәннен, тығыздығы жоғары материалдан жасалған, индустриалды механикалық тұрақтылық пен экстремалды жылу жүктемесіндегі өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз ететін жоғары тығыздық материалдары. Тіркелген, дәл SIC жабыны химиялық будың тұндыруын пайдаланатын көміртегі қабатына қосуға болады, бұл химиялық будың тұндыруын пайдаланады (CVD), олар бірге жоғары тығыздықты, тегіс, өткір және пиншоңызды берік байланыстырады. Бұл технологиялық газдар мен реактор жағдайымен жақсы үйлесімділік, сондай-ақ ластанумен және вафли кірістілігіне әсер ететін бөлшектермен және аз бөлшектер де айтуға болады.

Микро-тесіктің орналасуы, аралығы және құрылымы Тасымалдаушының төменгі жағындағы құрылымы, графитті вафлидің үстінен графитті тасымалдаушының перфорациясы арқылы тиімді және біркелкі газ ағынын жылжыту жоспарлануда. Реактордың түбінен біркелкі газ ағыны эпитакситтік өсу процестері үшін графикалық тасымалдаушыларға, әсіресе, әсіресе, дәл және қайталануы өте маңызды. Сонымен қатар, перфорацияның тығыздығы мен үлгісінің сипаттамасы өте теңшелім, әр корпорацияның реактор дизайны, ал перфорация құрылымы технологиялық сипаттамаларға негізделген.

Subicorex графигі тасымалдаушылары эпитаксиальды технологиялық ортада жасалған және өндірілген. Subicorex барлық өлшемдер, тесік үлгілері, тесік үлгілері және жабылған қалыңдығы бар жабдықты, және жабылған қалыңдығымен қамтамасыз етеді. Біздің үйдегі операторларымызды өндіру және сапаны бақылау қабілеттілігі бүгінде жетекші жартылай өткізгіш өндірушілерді сұранысқа ие, дәл, қайталама өнімділікті және сенімділікті қамтамасыз етеді.