Жылдам термиялық күйдіру (қысқартылған RTA немесе RTP) - жартылай өткізгіш өндірісіндегі жылдам термиялық өңдеу технологиясы. Оның негізгі принципі жоғары қарқынды радиациялық жылу көзі (мысалы, галогендік лампалар, лазерлер, жарқыл шамдары және т.б.) көмегімен пластинаның бетін жылдам қыздыру, вафл......
Ары қарай оқуҮшінші буындағы жартылай өткізгіш өнеркәсібі қарқынды түрде қуаттылықты кеңейтуде. Кремний карбиді (SiC) және галлий нитриді (GaN) эпитаксия процестері жоғары температурада жұмыс істейтін орталарға, өте жоғары таза шикізатқа және миниатюрленген чип құрылғыларына қарай дамиды. Соған қарамастан, қатал......
Ары қарай оқуЖартылай өткізгішті өндірісте тотығу пластинаны жоғары температуралы ортаға орналастыруды қамтиды, онда оксид қабатын қалыптастыру үшін вафли беті бойынша оттегі ағады. Бұл пластинаны химиялық қоспалардан қорғайды, ағып кету тогының схемаға енуіне жол бермейді, ионды имплантациялау кезінде диффузиян......
Ары қарай оқуSemicorex тамаша термиялық тұрақтылықты, химиялық төзімділікті және вафельді қолдаудың нақты өнімділігін талап ететін жартылай өткізгіш процестерге арналған, TaC-жабылған графит пластинасының жетілдірілген қабылдағыштарын ұсынады. Жартылай өткізгіш өндірушілер жаңа буын құрылғыларын әзірлеуді жалғас......
Ары қарай оқуФокус сақиналары әдетте плазмалық сызу жабдығының вафельді патронының айналасына орнатылатын дәлдіктегі сақиналы бөліктер болып табылады және ою процесі кезінде жоғары энергиялы плазмаға тікелей әсер етеді. Олардың негізгі функциясы пластинаның бүкіл бетінде біркелкі ою нәтижелерін қамтамасыз ету үш......
Ары қарай оқуЖартылай өткізгішті өндірудегі таптырмас негізгі буын ретінде пластинаны ұстау технологиясының тұрақтылығы мен дәлдігі чип өндірісінің тиімділігіне және дайын құрылғының сапасына тікелей әсер етеді. Вакуумдық патрондар және электростатикалық патрондар жартылай өткізгішті өндіруге арналған пластинаны......
Ары қарай оқу