SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Semicorex кремний тұғыры, жиі назардан тыс қалған, бірақ маңызды құрамдас бөлік, жартылай өткізгіштердің диффузиясы мен тотығу процестерінде дәл және қайталанатын нәтижелерге қол жеткізуде маңызды рөл атқарады. Кремний қайықтары жоғары температуралы пештерде отыратын арнайы платформа температураның біркелкілігіне, пластинаның сапасын жақсартуға және сайып келгенде, жартылай өткізгіш құрылғының жоғары өнімділігіне тікелей ықпал ететін бірегей артықшылықтарды ұсынады.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуКремний пластинкаларын өңдеу және өңдеу үшін мұқият әзірленген Semicorex кремнийді күйдіру қайығы жоғары өнімді жартылай өткізгіш құрылғыларға қол жеткізуде шешуші рөл атқарады. Оның бірегей дизайн ерекшеліктері мен материал қасиеттері оны диффузия және тотығу сияқты өндірістің маңызды қадамдары үшін маңызды етеді, біркелкі өңдеуді қамтамасыз етеді, өнімділікті арттырады және жартылай өткізгіш құрылғылардың жалпы сапасы мен сенімділігіне ықпал етеді.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor ерекше тиімділік пен дәлдікпен жоғары өнімді жартылай өткізгіш құрылғыларды жасауға мүмкіндік беретін металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) эпитаксисінің маңызды құрамдас бөлігі ретінде пайда болды. Материалдық қасиеттердің бірегей үйлесімі оны құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды өсуі кезінде кездесетін қиын термиялық және химиялық орталарға өте қолайлы етеді.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Horizontal SiC Wafer Boat өнімділігі жоғары жартылай өткізгішті және фотоэлектрлік құрылғыларды өндіруде таптырмас құрал ретінде пайда болды. Жоғары таза кремний карбидінен (SiC) мұқият құрастырылған бұл мамандандырылған тасымалдағыштар озық электронды компоненттерді жасауға қатысты күрделі процестер үшін маңызды ерекше термиялық, химиялық және механикалық қасиеттерді ұсынады.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor жоғары сапалы жартылай өткізгіш пластинкалардың эпитаксиалды өсуін қамтамасыз ететін маңызды технологияны білдіреді. Күрделі химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы жасалған бұл сенсорлар эпитаксиалды қабаттың ерекше біркелкілігі мен процестің тиімділігіне қол жеткізу үшін берік және жоғары өнімді платформаны қамтамасыз етеді.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC керамикалық вафельді қайық вафли тұтастығын сақтай отырып және өнімділігі жоғары құрылғыларға қажетті тазалықты қамтамасыз ете отырып, жоғары температурада өңдеуге тұрақты платформаны қамтамасыз ететін маңызды мүмкіндік беретін технология ретінде пайда болды. Ол дәлдікке негізделген жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіптерге бейімделген. Вафельді өңдеудің барлық аспектілері, тұндырудан диффузияға дейін, мұқият бақылау мен таза ортаны талап етеді. Semicorex компаниясында біз сапаны үнемділікпен біріктіретін өнімділігі жоғары SiC керамикалық вафельді қайықты өндіруге және жеткізуге бағытталғанбыз.**
Ары қарай оқуСұрау жіберу