Өңдеу кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды арнайы пештерде қыздыру керек. Реактор ұзартылған цилиндрлік түтіктерден тұрады, оларда пластиналар вафельді қайықтарда алдын ала белгіленген, бірдей қашықтықта орналасады. Камера ішіндегі өңдеу шарттарына төтеп беру және өңдеу жабдығынан, вафельді қайықтардан және көптеген қалдықтардан вафлилерге қалдықтарды азайту үшін. пластинаны өңдеуде қолданылатын басқа құрылғылар кремний карбиді (SiC) сияқты материалдан жасалған.
Өңдеуге жататын пластиналар партиясы тиелген қайықтар құбырлы пештер мен реакторларға кіргізуге және олардан шығаруға болатын ұзын консольді қалақтарға орналастырылады. Қалақшалар бір немесе бірнеше қайықтарды орналастыруға болатын тегістелген тасымалдаушы бөлікті және қалақты ұстауға болатын тегістелген тасымалдаушы бөліктің бір шетінде орналасқан ұзын тұтқаны қамтиды.
Консольдық қалақша CVD SiC жұқа қабаты бар қайта кристалданған кремний карбидін пайдалану ұсынылады, бұл жоғары тазалық және жартылай өткізгішті өңдеудегі компоненттер үшін ең жақсы таңдау.
Semicorex сызбаларға және жұмыс ортасына сәйкес теңшеу қызметін ұсына алады.
Semicorex SiC (Кремний карбиді) консольдық қалақ жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде, әсіресе диффузиялық немесе LPCVD (төмен қысымды химиялық буларды тұндыру) пештерінде диффузия және RTP (жылдам термиялық өңдеу) сияқты процестерде қолданылатын маңызды компонент болып табылады. SiC Cantilever Paddle диффузия және RTP сияқты әртүрлі жоғары температура процестері кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды технологиялық түтік ішінде қауіпсіз тасымалдауға арналған. Ол осы пештердің технологиялық түтігінің ішіндегі пластиналарды қолдау және тасымалдау мақсатына қызмет етеді. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex кремний карбиді консоль қалақшасы әртүрлі термиялық өңдеуге арналған пештерде қолданылатын арнайы компонент болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуҮлкен пластинаны тиеу күші кремний карбидті SiC керамикалық консоль қалақшасы роботтың автоматты тиеу және өңдеу жүйесі үшін жарамды, себебі оның тұрақты өнімділігі, жоғары температурада деформацияланбауы және үлкен пластинаны тиеу күші бар. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу