Қытай Консольдық қалақ Өндірушілер, Жабдықтаушылар, Зауыт

Өңдеу кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды арнайы пештерде қыздыру керек. Реактор ұзартылған цилиндрлік түтіктерден тұрады, оларда пластиналар вафельді қайықтарда алдын ала белгіленген, бірдей қашықтықта орналасады. Камера ішіндегі өңдеу шарттарына төтеп беру және өңдеу жабдығынан, вафельді қайықтардан және көптеген қалдықтардан вафлилерге қалдықтарды азайту үшін пластинаны өңдеуде қолданылатын басқа құрылғылар кремний карбиді (SiC) сияқты материалдан жасалған.

Өңделетін пластиналар партиясы тиелген қайықтар құбырлы пештер мен реакторларға кіргізілуі және алынуы мүмкін ұзын консольді қалақтарға орналастырылады. Қалақшалар бір немесе бірнеше қайықтарды орналастыруға болатын тегістелген тасымалдаушы бөлікті және қалақты ұстауға болатын тегістелген тасымалдаушы бөліктің бір шетінде орналасқан ұзын тұтқаны қамтиды.

Консольдық қалақша CVD SiC жұқа қабаты бар қайта кристалданған кремний карбидін пайдалану ұсынылады, бұл жоғары тазалық және жартылай өткізгішті өңдеудегі компоненттер үшін ең жақсы таңдау.

Semicorex сызбалар мен жұмыс ортасына сәйкес теңшеу қызметін ұсына алады.