8. дюйм эпи жақтаушысы

Subicorex 8 дюймдік эпи сезімтеті - бұл жартылай өткізгіштерді шығару үшін эпитаксиалды тұндыру операцияларында қолданылатын жоғары технологиялық вафлидің бөлімі. Ол эпитаксиалды реакторлардың қалың, үздіксіз біркелкі қабаты бар, бұл термиялық тұрақтылық, химиялық тұрақтылық, химиялық тұрақтылық және, судың біркелкілігі маңызды. 8 дюймдік диаметрі 200 мм вафли өңделетін жабдыққа салалық сипаттамаларға стандартталған, сондықтан қолданыстағы өндіріске арналған көп интеграцияны қамтамасыз етеді.  

Эпитаксиальды өсу жоғары бақыланатын жылу ортасын және салыстырмалы түрде инертті материалдық әрекеттерді қажет етеді. Екі данада SIC қапталған графит позитивті түрде орындалады. Графит өзегі өте жоғары жылу өткізгіштікке ие және жылу кеңеюі өте төмен, жеткілікті жобаланған жылыту көзі бар, ол графит өзегінен жылуды тез арада жіберілуі және вафлидің беткі қабатындағы тұрақты градиенттерді ұстауға болады. SIC сыртқы қабаты сезімталның сыртқы қабығында қолданылады. SIC қабаты жоғары температурадан қорғайды, жоғары температурадан, сутегі газының коррозиялық өнімдерін, мысалы, сутегі, хлорланған сілемнің жоғары коррозиялық қасиеттері және бірнеше қайталанған жылу циклдарының жиынтық сипатына байланысты механикалық түрде жою. Жалпы, біз дуальды материалдық құрылым жеткілікті қалың болғанша, сезімталдық механикалық тұрғыдан да, химиялық түрде де ұзақ уақыт жылыту кезеңдерінде механикалық түрде де, химиялық түрде де қалады деп болжаймыз. Қорытындылай келе, біз мұны тиісті жылу полигондары ішінде жұмыс істеген кезде, және SIC қабаты «Процесс және графикалық ядро» арасындағы сенімді тосқауыл ұсынады, сонымен қатар құралдардың сапасын барынша, қызмет көрсетудің ұзындығын барынша арттырады.

Графит компоненттері жартылай өткізгіш өндіріс процестерінің маңызды және өте маңызды бөлігі бар, ал графит материалының сапасы өнімнің орындалуындағы маңызды фактор болып табылады. Semicorex-те біз өндірістік процестің әр сатысында қатаң бақылау бар, сондықтан біз көп репродуктивті материалдың біртектілігі мен партиядан топтастырыла аламыз. Біздің кішігірім партиялық өндіріс процесінде бізде 50 текше метр болатын кішігірім көміртекті пештер бар, олар бізге өндіріс процесінде қатаң бақылауды жүргізуге мүмкіндік береді. Әр графиттік блок біздің процесті бақыланатын жеке бақылаудан өтеді. Пеш ішіндегі көп нүктелік температураның мониторингісінен басқа, біз өндіріс процесінде температураны ауытқуды азайту, температураны азайтатын температураны бақылаймыз. Біздің термиялық басқаруға деген көзқарасымыз ішкі күйзелісті азайтуға және жартылай өткізгіш қосымшаларға арналған жоғары тұрақты және репродуктивті графит компоненттерін шығаруға мүмкіндік береді.

SIC жабыны химиялық бумен тұндыру (CVD) арқылы қолданылады және бөлшектердің буынын азайтатын майлы матрицасы бар қатты, таза бетті шығарады; Сондықтан CLEAN CVD процесі жетілдірілген. Қапталған пленкалық қалыңдығының CVD-процесті бақылау біркелкілікке кепілдік береді және жылу велосипедімен жазық және өлшемді тұрақтылық үшін маңызды. Бұл ақыр соңында вафлидің керемет жоспарын ұсынады, нәтижесінде эпитакси процесі кезінде де қабатты да тұндыру болады.

Өлшемді дәйектілік - бұл 8 дюймдік эпи сезімталдықтың жартылайксисімен шығарылған тағы бір негізгі артықшылығы. Сусептор вафлимен роботтармен және жылу аймақтарында дәл үйлесімділікке және дәлдікке сәйкес келетін қатаң төзімділікке бағытталған. Сусептордың беті жылтыратылған және сезімтал эпитаксиальды реактордың нақты термиялық және ағынының жағдайына бейімделген. Опциялар, мысалы, PIN-кодтар, қалта ойықтары немесе слипке қарсы беттердің бәрі OEM құралдары дизайнының және процестерінің нақты талаптарына сәйкес келуі мүмкін.

Әрбір сезімталдық өндіріс кезінде жылу өнімділігі мен жабынының тұтастығына бірнеше сынақтардан өту. Сапаны бақылау әдістері, оның ішінде өлшемді өлшеу және тексеру, жабынға адгезия сынақтарын, жылулыққа қарсы сынақтарды, жылулыққа төзімді тексерулер және химиялық төзімділік сынақтары, тіпті агрессивті эпитаксилі ортада да қол жеткізіледі. Нәтиже - бұл, сайып келгенде, жартылай өткізгіш өндірістің қазіргі талаптарын қанағаттандырған және асып түсетін өнім.

Subicorex 8 дюймдік эпи сезімтеті жылу өткізгіштік, механикалық қаттылық және химиялық инертті теңестіретін SIC жабылған графиттен жасалған. 8 дюймдік сезімтал Сусептор жоғары температурада, таза, таза, вафли қолдауының арқасында жоғары температурада, жоғары өнімділігі, жоғары сапалы, жоғары сапалы эпитакситтік процестермен қамтамасыз етудің сәттілігіне байланысты негізгі көлемді қосымшалардың негізгі компоненті болып табылады. 8 дюймдік эпа сезімшесінің мөлшері нарықтағы стандартты 8 дюймдік жабдықтарда жиі кездеседі және бар клиенттердің жабдықтарымен алмастырылады. Стандартты конфигурацияда EPI Succeptor жоғары теңшелетін.