Sic қапталған плитасы

SEMCOREX SIC қапталған плитасы - жоғары сапалы фильмдер жасау үшін тұрақты, жоғары сапалы, жоғары сапалы, жоғары сапалы субстраттарды қажет ететін арнайы өндірістік компонент. Бұл кремсон вагондарының өзегі, біркелкі және тығыз және тығыз жабылған, химиялық тұрақтылықпен және SIC-тің беттік беріктігімен үйлесімді графиттің теңдесі жоқ және механикалық кедергісіне қол жеткізу. SIMCOREX SIC қапталған табақ плитасы SIC және gan құрмалы жартылай өткізгіштер үшін эпитаксиальды процестердің экстремалды қаттылығын қолдау үшін құрылған.

SIC қапталған пластинаның графиттік өзегі ерекше жылу өткізгіштікке ие, төмен тығыздығы төмен және жылу соққыларына ие. Тамаша жылу өткізгіштікпен теңдестірілген графиттік ядроның орташа жылу массасы жылудың жылдам таралуына температура циклдері жоғары жылдамдықпен жүреді. SIC-тің сыртқы қабаты химиялық будың тұндыруы (CVD), қорғаныс тосқауылын ұсынады, бұл бөлшектердің пайда болуын шектеу немесе алдын-алу немесе олардың алдын-алу үшін қаттылықты, коррозияға қарсы тұрақтылықты және химиялық инерсті арттырады. Бұл қатты элементтік беті графит базасының физикалық сипаттамаларымен бірге эпитаксиальды қабаттарда ақаулар алу қаупі аз немесе мүлдем жоғары температура ортасын қамтамасыз етеді.

Өлшемді дәлдік пен беткі қабат, сонымен қатар SIC қапталған пластинаның маңызды белгілері болып табылады. Әр тақтайша өңделіп, технологиялық жұмыстағы біркелкілік пен қайталануды қамтамасыз ету үшін өңделеді және тығыз толерлықтармен қапталған. Тегіс және инертті беті қалаусыз пленкалы тұндыру үшін нуклеациялық учаскелерді азайтады және пластиналы бетіне вафлидің біркелкілігін жақсартады.

Эпитаксиальды реакторларда SIC қапталған пластинасы әдетте құрылым беру және құрылым беру үшін әдетте сезімталдық, лайнер немесе жылу қалқаны ретінде жүзеге асырылады және өңделеді. Тұрақты орындау кристалды сапа, кірістілік және өнімділікке тікелей әсер етеді.