SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбидті материал кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, оның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, сондай-ақ жылу өткізгіштік.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті жақсартуға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік пен қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Құндылықтар |
Құрылым |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор - бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Semicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, дәлдік пен беріктікті қайта анықтайтын жартылай өткізгішті құрылғылар өндірісіндегі маңызды компонент. SiC қапталған графиттен жасалған бұл шағын, бірақ маңызды бөлшектер жартылай өткізгіштерді өңдеуді тиімділік пен сенімділіктің жаңа деңгейлеріне көтеруде шешуші рөл атқарады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Planetary Disk, кремний карбидпен қапталған графит пластинасы бар қабылдағыш немесе металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) пештеріндегі молекулалық сәулелік эпитаксия (MBE) процестеріне арналған тасымалдаушы. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуБіздің озық CVD SiC құймақ сорғышымен жартылай өткізгіш өндірісіндегі дәлдік шыңын ашыңыз. Жартылай өткізгішті жабдық үшін арнайы әзірленген бұл диск тәрізді компонент жоғары температурадағы эпитаксиалды тұндыру процестері кезінде жұқа жартылай өткізгіш пластиналарды қолдау үшін маңызды элемент ретінде қызмет етеді. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC жылытқышы кремний карбидті қыздыру элементтері, жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу және өңдеуде қолданылатын арнайы құрал. Жабдықтың бұл маңызды бөлігі жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті оңтайлы жылу ортасын құруда шешуші рөл атқарады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex CVD SiC қапталған графитті қабылдағыш, жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу мен өңдеуде қолданылатын арнайы құрал. Суцептор температура мен материалдың қасиеттерін дәл бақылай отырып, субстраттардағы жұқа қабықтардың, эпитаксиалды қабаттардың және басқа жабындардың өсуін жеңілдетуде шешуші рөл атқарады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC жылыту элементі қыздырғыш жіптері SiC Rods, жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеу және өңдеу үшін қолданылатын арнайы құрал. Жабдықтың бұл маңызды бөлігі жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті оңтайлы жылу ортасын құруда шешуші рөл атқарады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу