ICP үшін SIC тасымалдаушысы

Заманауи индуктивті комплексальды (ICP) этчинг және тұндыру құралдары, семикорексикалық жабылған графит тасымалдаушысы ымырасыз сұраныстарға, ICP үшін семикорексикалық қапталған тасымалдаушы, плазмалық тұрақтылықтың сирек кездеседі, жылу дәлдігі және механикалық тұрақтылық береді. Өзінің ядросында кристалды бағдарлау субстраты жатады, олардың кристалл бағдарлары ерекше анизотропты мінез-құлық үшін мықтап бақыланады: жазықтық жылу өткізгіштігі шартты изостатикалық бағалардан әлдеқайда жоғары, алайда өтеу жолы вафлиді ыстық нүктелерді басу үшін әдейі жасалады. Бұл бағытты жылу ағындарын басқару әр өлімнің 150 мм-ге дейін 300 мм-ге дейінгі вафлиді қамтамасыз етуді қамтамасыз етеді, бұл біртұтас температурада және тұрақты емес тепе-теңдікті, тікелей сыни өлшемге (CD) таратады және жоғары құрылғыларға тікелей аударады.

Осы ультра таза графитті орап, жоғары температуралы CVD пештеріндегі конформды кремний-карбид қабаты. SIC жабыны химиялық жабыны 2 000 ° C-қа дейін және 0,1% -дан аз мөлшерде мақтану және 0,1% -дан төмен мақтану - бұл фтор, хлор және броминдік радикалдарға қарағанда, жоғары тығыздықтағы ICP химияларында жиі кездеседі. Ұзақтығы ұзақ мерзімді төзімділік CF₄ / OW, CL₂ / BCL₃ және HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBR / HBRE тарифтерін 0,3% -дан төмен көрсетті.

Өлшемді дәлдік бірдей емес Диспанның жанындағы қаттылықпен байланысқан тығыз толеранттылық, механикалық қысқыш және электростатикалық-чак велосипедімен, электростатикалық қысқыштардың көмегімен бөлшектердің ұрпақтарына қарсы тұрады. Жоғары қуатты ICP реакторлары үшін Тасымалдаушының электрлік кедергісі (<40 мω) төмен электрлік кедергісі (<40 м) Жедел радиациялық ұшақтарды тұрақтандыруға, флорзистикалық профильдерді басқара алатын немесе микро-масканы тудыруы мүмкін.

Subicorex тасымалдаушыларының әр партиясы графитті кристалрографиялық туралануды, SIC қабаттарының тұтастығын растау үшін SIM-ге арналған кристалрографиялық туралануды және PPM деңгейінің қосалқы табалдырығын растау үшін жартылай кристранттарды салыстыруға ұшырайды. Біз микро лот өндіруді талап етпейміз (бір іске қосу үшін 20 данадан аз), статистикалық процестерді басқару кестелері ерекше тығыз, жаппай нарық жеткізушілері сәйкес келмейді. Реттелетін геометриялар, қалта тереңдігі және артта салқындату арналары қорғасын уақыттарында, үш апта қысқа, үш апта ішінде, аппараттарды және жоғары аралас фабаларды жабдықтауға мүмкіндік береді.

Дүниежүзілік кластағы анизотропты графитті герметикалық SIC BRIC-ті біріктіре отырып, ICP үшін Semicorex SIC тасымалдаушысы жаңа плазма орталарына төтеп беріп, термиялық бірыңғай платформамен қамтамасыз етеді, бірақ процессор терезесінің ендік және Death деңгейі бар. Құрылғының өндірушілері үшін регистрлік цендтарға, тікердің профильдеріне және меншік құқығына ұмтылғандар үшін, меншік құқығының арзан бағасы, ол әрбір микрон, әр вафли және әр сағат сайын есептелетін таңдау.