Газ құятын сақиналар пластинаның жиегі мен периметрін жабу үшін пайдаланылады, таза, инертті және қорғалған ортаны жасау үшін маңызды камераның құрамдас бөліктерін қорғайды және тұндыру камераларында олардың пайдалану мерзімін ұзартады, сондықтан оларды тұндыру немесе пластинаны өңдеу кезінде плазма мен жоғары температураға ұшыратады. , сондықтан күшті плазманың беріктігі мен жоғары тазалығы пластинаның соңғы шығымы үшін өте маңызды.
Semicorex CVD SiC қапталған сақиналары эпитаксистік жабдықты қажет ететін осы қосымшалар үшін арнайы әзірленген.
Semicorex Sic Cin Rings - бұл жылтүгіні өткізгіштігі үшін жоғары өнімді кремний карбидінің құрамдас бөліктері - бұл жылу жылу тұрақтылығы, химиялық тұрақтылықты және дәл өңдеуді ұсынатын жоғары сапалы кремний карбид компоненттері. Subicorex таңдау дегеніміз - жетекші жартылай өткізгіш өндірушілердің сенімді, бейімделген және ластанусыз ерітінділеріне қол жеткізуді білдіреді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу