Газ құятын сақиналар пластинаның жиегі мен периметрін жабу үшін пайдаланылады, таза, инертті және қорғалған ортаны жасау үшін маңызды камераның құрамдас бөліктерін қорғайды және тұндыру камераларында олардың пайдалану мерзімін ұзартады, сондықтан оларды тұндыру немесе пластинаны өңдеу кезінде плазма мен жоғары температураға ұшыратады. , сондықтан күшті плазманың беріктігі мен жоғары тазалығы пластинаның соңғы шығымы үшін өте маңызды.
Semicorex CVD SiC қапталған сақиналары эпитаксистік жабдықты қажет ететін осы қосымшалар үшін арнайы әзірленген.