Semicorex графит орталық тақтасы немесе MOCVD сенсоры - бұл вафли чипіндегі эпитаксиалды қабатты өсіру процесінде қолданылатын химиялық бу тұндыру (CVD) әдісімен қапталған жоғары таза кремний карбиді. SiC қапталған сенсор MOCVD маңызды бөлігі болып табылады, сондықтан ол жоғары жылу және химиялық төзімділікті, сондай-ақ жоғары жылу біркелкілігін талап етеді. Біз эпитаксистік жабдықты осы талап ететін қолданбалар үшін арнайы әзірледік.