Қытай Душ басы Өндірушілер, Жабдықтаушылар, Зауыт

SiC (кремний карбиді) душ басы әртүрлі өнеркәсіптік процестерде, әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде қолданылатын арнайы компонент болып табылады. Ол химиялық буларды тұндыру (CVD) және эпитаксиалды өсу процестері кезінде технологиялық газдарды біркелкі және дәл таратуға және жеткізуге арналған.

Душ басы бетінде біркелкі бөлінген бірнеше саңылаулары немесе саптамалары бар диск немесе пластина тәрізді. Бұл саңылаулар технологиялық газдардың шығуы ретінде қызмет етеді, бұл оларды технологиялық камераға немесе реакциялық камераға айдауға мүмкіндік береді. Саңылаулардың өлшемі, пішіні және таралуы нақты қолдану мен технологиялық талаптарға байланысты өзгеруі мүмкін.

SiC душ басын пайдаланудың басты артықшылықтарының бірі оның тамаша жылу өткізгіштігі болып табылады. Бұл қасиет жылуды тиімді тасымалдауға және душ кабинасының бетінде температураның біркелкі таралуына мүмкіндік береді, ыстық нүктелерді болдырмайды және тұрақты процесс жағдайларын қамтамасыз етеді. Жақсартылған жылу өткізгіштік сонымен қатар процесс аяқталғаннан кейін душ басын жылдам салқындатуға мүмкіндік береді, тоқтау уақытын азайтады және жалпы өнімділікті арттырады.

SiC душ бастары өте берік және тозуға және тозуға төзімді, тіпті коррозиялық газдар мен жоғары температуралар ұзақ уақыт әсер еткенде де. Бұл ұзақ қызмет мерзімі ұзартылған техникалық қызмет көрсету аралықтарына және жабдықтың тоқтап қалу уақытын қысқартуға, нәтижесінде шығындарды үнемдеуге және процестің сенімділігін арттыруға әкеледі.

Оның беріктігінен басқа, SiC душ кабиналары тамаша газ тарату мүмкіндіктерін ұсынады. Нақты құрастырылған саңылау үлгілері мен конфигурациялары біркелкі газ ағыны мен субстрат беті бойынша таралуын қамтамасыз етеді, дәйекті пленка тұндыруын және құрылғының жақсартылған өнімділігін қамтамасыз етеді. Газдың біркелкі таралуы сонымен қатар пленка қалыңдығының, құрамының және басқа да маңызды параметрлеріндегі ауытқуларды азайтуға көмектеседі, бұл процесті бақылау мен өнімділікті жақсартуға ықпал етеді.

Semicorex төмен кедергісі бар кремний карбидті жартылай өткізгіш душ басын ұсынады. Бізде әртүрлі бірегей мүмкіндіктерді пайдалана отырып, озық керамикалық материалдарды тапсырыс бойынша жасау және жеткізу мүмкіндігі бар.