Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температура және химиялық төзімді, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графиттік сенсорларға дейін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Соңғы эффектор →
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Semicorex монокристалды кремний электродтары вафельді өрнектеу процесінде электродтар ретінде де, газды өңдеу жолдары ретінде де қызмет етеді. Semicorex бір кристалды кремний электродтары жартылай өткізгішті жоғары сапалы өңдеу үшін арнайы әзірленген таптырмайтын кремний компоненттері болып табылады, олар оюдың дәлдігі мен біркелкілігін жақсартуға көмектеседі.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Cantilever Paddles - жоғары температурада және жоғары тазалықта жартылай өткізгішті өңдеу қолданбаларына арналған дәлдікпен жасалған компонент. Semicorex кеңейтілген пластинаны өңдеу және жылуды басқару жүйелерінің талап етілетін талаптарын қанағаттандыру үшін жоғары сапалы Консоль қалақтарды қамтамасыз етеді.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex кремнийді оқтау сақиналары - жоғары тазалықтағы бір кристалды кремнийден жасалған сақина тәріздес дәлдікпен өңдеу компоненттері. Олар плазманы өңдеудің оңтайлы жағдайларын жасау үшін арнайы әзірленген плазмалық өңдеу жабдығында қолданылатын маңызды кремний бөліктері. Semicorex таңдаңыз, жоғары сапалы кремний өрнек сақиналарын таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуLPCVD үшін Semicorex пеш түтіктері біркелкі және тығыз CVD SiC жабыны бар дәлдікпен жасалған құбырлы құрамдас бөліктер болып табылады. Жетілдірілген төмен қысымды химиялық бу тұндыру процесі үшін арнайы әзірленген, LPCVD үшін Semicorex пеш түтіктері вафельді жұқа қабықпен тұндыру сапасы мен шығымдылығын жақсарту үшін қолайлы жоғары температура, төмен қысымды реакция орталарын қамтамасыз ете алады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex CVD SiC қапталған пеш түтіктері жартылай өткізгіш пластиналарды тотығу, диффузия және күйдіру сияқты жоғары температурада жартылай өткізгіштерді өңдеу үшін арнайы жасалған жоғары сапалы құбырлы құрамдас бөліктер болып табылады. Жетілдірілген өңдеу технологиялары мен жетілген өндірістік тәжірибені пайдалана отырып, Semicorex қымбатты тұтынушылар үшін дәлме-дәл өңделген CVD SiC қапталған пеш түтіктерін нарықтағы жетекші сапамен қамтамасыз етуге ұмтылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSIMCOREX SIC технологиялық түтіктері жоғары тазалықпен жасалады, SIC CER Cerical Ceram Ceric Ceric Cerication, жартылай өткізгіштегі көлденең пешке арналған. Өнімнің сапасы мен сатылымнан кейінгі қызметті ескере отырып, Subicorex - бүкіл әлемдегі клиенттермен сапалы бизнес жасағысы келетіні. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу