Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температура және химиялық төзімді, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графиттік сенсорларға дейін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Соңғы эффектор →
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Subicorex Wafer Exfer Greinding Chuck - бұл жоғары тазалықтағы ақ түлектерден жасалған керамикалық диск - бұл жартылай өткізгіштердегі вафлиді тегістеуге арналған. Subicorex таңдау маңызды материалдық сапаны, дәл инженерлік және вафлиді қайта өңдеудің ең талапты ортасын қолдайтын сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кеуекті алюминий Чактар - бұл 35-40% кеуектілігі бар, жартылай өткізгіштер өндірісінде бірыңғай сору және қауіпсіз жұмыс істеуге арналған. Subicorex таңдау - сенімді керамикалық инженерия, жоғары материалдық сапа, жоғары материалдық сапа және кірістілік пен процестің тұрақтылығы. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Al2o3 вакуумдық Chucks - бұл қара алюминийден жасалған мөлдірлік адсорбциялық адсорбциялық арматура, бұл қара түлектіктен жасалған, жартылай өткізгіш қосымшаларда вафлиді өңдеуге арналған. Subicorex таңдау дегеніміз, жетілдірілген керамика технологиясының пайдасын, дәл инженериядан және таза өнім сапасына, таза өнімді талап ететін және таза өнімді талап ете отырып, таза өнімді қажет етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Alumina Cerical Aug - бұл жартылай өткізгіш өндірісінде вафлидің дәл және ластануына арналған жоғары сапалы роботтық компонент. Subicorex таңдау алдыңғы қатарлы алюминий керамикалық материалының сапасын ғана емес, сонымен қатар процесс процестерінің беріктігіне, тазалыққа және сенімділігіне кепілдік береді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Sic Cin Rings - бұл жылтүгіні өткізгіштігі үшін жоғары өнімді кремний карбидінің құрамдас бөліктері - бұл жылу жылу тұрақтылығы, химиялық тұрақтылықты және дәл өңдеуді ұсынатын жоғары сапалы кремний карбид компоненттері. Subicorex таңдау дегеніміз - жетекші жартылай өткізгіш өндірушілердің сенімді, бейімделген және ластанусыз ерітінділеріне қол жеткізуді білдіреді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex SIC ARM - бұл жоғары сапалы кремний карбиді компоненті, ал жартылай өткізгіш өндірісінде дәл уақтылы өңдеуге арналған. Subicorex таңдау үшін емес, дұрыс сенімділік, химиялық тұрақтылық және дәлдік техниканы қамтамасыз етеді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу