8 дюймдік эпи сақинасы

Subicorex 8 дюймдік эпи сақинасы - бұл реакция камерасындағы жоғарғы қақпақ сақинасы сияқты жоғары өнімділікті қамтамасыз ететін эпитаксиальды (EPI) драйверлерінің мамандандырылған компоненті. Жартылай өткізгіш вафлидің эпитаксиалдық өсу кезіндегі құрылымдық тұрақтылық пен жылу тұрақтылығы бар, эпитактивті сақина жоғары сапалы графиттен жасалған және жартылай өткізгіштік өндірістің температурасы мен химиялық реактивті орталарына төтеп беру үшін жоғары сапалы графиттен жасалған.

Эпитаксиальды реакторларда жоғарғы сақина вафли ортасын сақтауға көмектеседі және сусцепция ассамблеясының құрамында тұндыру кезінде температураның біркелкілігінде және газ ағынымен маңызды рөл атқарады. Графит субстратындағы SIC жабыны эпи сақинаның (сутегі, сильан, клороздар және т.б.) айналмалы газдардың әсеріне байланысты графиттік өзекті қорғау үшін қажетті жылу тұрақтылығы мен инертті ортасы бар эпи үстіңгі сақинасын ұсынады (сутегі, силороздар және т.б.). SIC қабатының қаттылығы мен өткізгіштігі деградацияның алдын алу және өндірістік цикл бойынша тұрақты қабаттарға мүмкіндік беру арқылы EPI жоғарғы сақинасының жұмысын жақсартады.

Өлшемді дәлдікке, жабынның дәйектілігі мен қайталануына деген адалдықпен 8 дюймдік эпи сақинасы дәл инженериямен шығарылған. Графит субстраты тығыз толеранттылыққа және термиялық тазартылған және термиялық тазартылған, таза субстрат, таза субстрат, керемет тазалығы мен күші бар. SIC жабыны химиялық будың тұндыру (CVD) арқылы қолданылады, тығыз, дәйекті және қатты қорғаныс қабатын қалыптастыру. Бұл процесс бөлшектерді өндіруді азайтады және қамауға ұзартылған пайдалану кезінде беттің тұтастығын сақтауға мүмкіндік береді.

Жартылай өткізгіш өндірушілер өндіріс кезінде сыни камералық параметрлер мен ақаусыз вафлиді қолдау үшін эпи үстіңгі сақинасына сенеді. Конфигурация OEM 8 дюймдік вафлиді өңдеу жүйелерімен пайдалануға арналған. Реттелетін опциялар қалыңдығы, беті, әрлеу және жылуды басқару немесе тіпті газ тарату үшін жасалған дизайндары үшін қол жетімді.

Осы қосымшаның SIC қапталған графиттің қасиеттеріне сәйкес келу екі материалдан да ең жақсы қасиеттерді біріктіруге; Графит өте өңделеді және термиялық соққыға төзімді, кремний карбидімен біріктірілген, олар қиын, коррозияға төзімді және қызмет ету мерзімі ұзаққа созылады. Бұл комбинация, сайып келгенде, сізге жоғары температурада сенімді және техникалық қызмет көрсету аралықтарын азайтады және жалпы жетілдірілген жабдықты қамтамасыз ететін таза және тұрақты өңдеу ортасына кепілдік береді.

Графит компоненттері жартылай өткізгіш өндірісінде таптырмайтын және шешуші рөл атқарады. Графит материалының сапасы дайын өнімнің сапасына айтарлықтай әсер етеді. Біздің графиттік пакеттік консистенция және материалдық біртектілік біздің барлық өндірістік процедурада бақыланады және кепілдендірілген.

1.Small-patch өндірісі, 50 текше метр болатын шағын карбонизация пештерін пайдаланып.

2. Әрбір материал бақыланып, бақыланады.

3. Пеш ішіндегі бірнеше нүктелердегі «» Мониторинг минималды температураның минималды айырмашылығын қамтамасыз етеді.

4. Материалдағы бірнеше нүктелердегі заманауи мониторинг минималды температураның минималды айырмашылықтарын қамтамасыз етеді.

Subicorex-тың 8 дюймдік эпи үстіңгі сақинасы ерекше өнімділікті, партия-партиялық консистенцияны ұсынады және кремний, кремний карбидінде немесе басқа құрама жартылай өткізгіштермен жасалған. Әрбір өндірістік кезеңде біз сапаны бақылау бар өнімдер шығарамыз, демек, жартылай өткізгіш өнеркәсіпке сатып алынған барлық өнімді сапа сипаттамасынан асып түседі.

Нақты инжиниринг, жоғары материалдар, жоғары материалдар және құрылғылардың өнімділігі мен өнімділігін жақсарту үшін қолданбалы ортақ пайдалану үшін Semicorex-тың 8 дюймдік эпи сақинасын таңдаңыз.