SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
|
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
|
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
|
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
|
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
|
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
|
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
|
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
|
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
|
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
|
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
|
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
|
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Semicorex 1x2 дюймдік графит пластинкалы қабылдағыштары жартылай өткізгіш пластинкалардың эпитаксиалды процесіне жақсы сәйкес келетін 2 дюймдік пластиналар үшін арнайы әзірленген өнімділігі жоғары тасымалдау компоненттері болып табылады. Материалдың тазалығы, инженерия дәлдігі және талап етілетін ортаның қайталанбайтын сенімділігі үшін Semicorex таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC қапталған графит пластиналары SiC және GaN эпитаксисінің қатаң талаптары үшін арнайы әзірленген жоғары тазалықтағы тасымалдаушылар болып табылады, оларда изостатикалық графит субстратында тығыз CVD кремний карбиді жабыны қолданылады, олар жоғары өнімділік үшін тұрақты, химиялық инертті термиялық тосқауылмен қамтамасыз етеді. Semicorex жаһандық тұтынушылар үшін білікті өнімдер мен қызметтерді ұсынады.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSiC қапталған графиттен жасалған Semicorex SiC эпи-вафельді қабылдағыштары жоғары температурадағы эпитаксиалды өсу процестерінде ерекше термиялық біркелкі және химиялық тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін жасалған. Semicorex бүкіл әлем бойынша тұтынушыларға ең жоғары сапалы өнімдер мен ең жақсы қызмет көрсетуді міндеттейді. Күшті техникалық тәжірибе және сенімді өндірістік мүмкіндіктер арқылы біз жаһандық серіктестерге тұрақты өнімділік пен ұзақ мерзімді құндылыққа қол жеткізуге көмектесеміз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC қапталған эпитаксиалды сенсорлар жартылай өткізгіш пластиналарды тұрақты қолдау және бекіту үшін жартылай өткізгіш эпитаксиалды өсу процесінде қолданылатын маңызды құрамдас бөліктер болып табылады. Жетілген өндірістік мүмкіндіктер мен заманауи өндіріс технологияларын пайдалана отырып, Semicorex біздің қымбатты тұтынушыларымыз үшін нарықтағы жетекші сапа және бәсекеге қабілетті бағамен SiC жабыны бар эпитаксиалды сезімталдықты жеткізуге ұмтылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSiC жабыны бар графит MOCVD сенсорлары - вафельді субстраттарды ұстауға және жылытуға жауап беретін Металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) жабдығында қолданылатын маңызды құрамдас бөліктер. Жоғары термиялық басқаруымен, химиялық төзімділігімен және өлшемдік тұрақтылығымен SiC қапталған графитті MOCVD сенсорлары жоғары сапалы вафельді субстрат эпитаксисі үшін оңтайлы нұсқа ретінде қарастырылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSiC қапталған графит науасы Si субстраттарына дәл температураны бақылауды және кремний эпитаксиалды өсу процесінде тұрақты қолдауды қамтамасыз ететін озық жартылай өткізгіш бөлік болып табылады. Semicorex әрқашан тұтынушыларға жоғары сапалы жартылай өткізгіштерді өндіруге қажетті негізгі құрамдас шешімдерді ұсына отырып, тұтынушылардың сұранысына басымдық береді.
Ары қарай оқуСұрау жіберу