SiC жабыны химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы сенсорға жұқа қабат болып табылады. Кремний карбиді материалы кремнийге қарағанда бірқатар артықшылықтарды қамтамасыз етеді, соның ішінде 10 есе ыдыраған электр өрісінің кернеулігі, 3 есе жолақ аралығы, бұл материалға жоғары температура мен химиялық төзімділікті, тамаша тозуға төзімділікті, сондай-ақ жылу өткізгіштігін қамтамасыз етеді.
Semicorex теңшелген қызмет көрсетеді, ұзағырақ қызмет ететін құрамдастармен инновациялар енгізуге, цикл уақыттарын қысқартуға және өнімділікті арттыруға көмектеседі.
SiC жабыны бірнеше ерекше артықшылықтарға ие
Жоғары температураға төзімділік: CVD SiC қапталған сенсоры айтарлықтай термиялық деградацияға ұшырамай, 1600°C дейінгі жоғары температураға төтеп бере алады.
Химиялық төзімділік: кремний карбиді жабыны қышқылдарды, сілтілерді және органикалық еріткіштерді қоса алғанда, химиялық заттардың кең спектріне тамаша төзімділік береді.
Тозуға төзімділік: SiC жабыны материалды тамаша тозуға төзімділікпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары тозуды қамтитын қолданбаларға қолайлы етеді.
Жылу өткізгіштік: CVD SiC жабыны материалды жоғары жылу өткізгіштікпен қамтамасыз етеді, бұл оны тиімді жылу беруді қажет ететін жоғары температуралық қолданбаларда пайдалануға жарамды етеді.
Жоғары беріктік және қаттылық: кремний карбидімен қапталған сенсор материалды жоғары беріктік пен қаттылықпен қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары механикалық беріктікті қажет ететін қолданбаларға қолайлы етеді.
SiC жабыны әртүрлі қолданбаларда қолданылады
Жарықдиодты өндіріс: CVD SiC қапталған сенсоры жоғары жылу өткізгіштігі мен химиялық төзімділігіне байланысты көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең ультракүлгін жарықдиодты қоса алғанда, әртүрлі жарықдиодты түрлерін өңдейтін өндірісте қолданылады.
Мобильді байланыс: CVD SiC қапталған сенсоры GaN-on-SiC эпитаксиалды процесін аяқтау үшін HEMT маңызды бөлігі болып табылады.
Жартылай өткізгішті өңдеу: CVD SiC қапталған сенсоры жартылай өткізгіш өнеркәсібінде әртүрлі қолданбалар, соның ішінде пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсу үшін қолданылады.
SiC қапталған графит компоненттері
Silicon Carbide Coating (SiC) графитімен жасалған, жабын жоғары тығыздықтағы графиттің белгілі бір сорттарына CVD әдісімен қолданылады, сондықтан ол инертті атмосферада 3000 °C жоғары, вакуумда 2200 °C жоғары температуралы пеште жұмыс істей алады. .
Материалдың ерекше қасиеттері мен төмен массасы жылдам қыздыру жылдамдығына, температураның біркелкі таралуына және бақылаудағы керемет дәлдікке мүмкіндік береді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
Құрылымы |
|
FCC β фазасы |
Бағдарлау |
Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Қорытынды CVD SiC жабынымен қапталған суссептор – бұл суссептор мен кремний карбидінің қасиеттерін біріктіретін композициялық материал. Бұл материалдың бірегей қасиеттері бар, соның ішінде жоғары температура мен химиялық төзімділік, тамаша тозуға төзімділік, жоғары жылу өткізгіштік, жоғары беріктік пен қаттылық. Бұл қасиеттер оны жартылай өткізгішті өңдеу, химиялық өңдеу, термиялық өңдеу, күн батареяларын өндіру және жарықдиодты өндірісті қоса алғанда, әртүрлі жоғары температура қолданбалары үшін тартымды материал етеді.
Subicorex SIC жабылған графит науалары - бұл ультракүлгін сәуле өнеркәсібіндегі Алған эпитаксиальды өсуіне арналған жоғары өнімді тасымалдаушы шешімдер. Өнеркәсіптік-материалдық тазалық, дәл инженерия және MOCVD орталарында теңдестірмеген сенімділігі үшін Subicorex таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Delching CVD-де вафлиді тасымалдаушы - SIC COLCATILE - Жетекші, жоғары өнімді, жоғары өнімді, жоғары өнімді, жоғары өнімді, қосымшаларды талап етеді. Оның жоғары жылу тұрақтылығы, химиялық тұрақтылық және механикалық тұрақтылығы оны бүкіл әлем бойынша жартылай өткізгіш өндірушілердің жоғары тиімділігі, сенімділігі және экономикалық тиімділігін қамтамасыз ететін заманауи вафлиді жасауды қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex жерсеріктік тақтасы - бұл Aixtron G5 + жабдыққа арналған жартылай өткізгіш эпитакси реакторларында қолданылатын сыни компонент. Subicorex-тің заманауи жабын технологиясымен озық материалдық сараптама, олар талап етілетін өнеркәсіптік қосымшаларға арналған сенімді, жоғары сапалы шешімдерді жеткізу үшін. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex планетарлық сезімталдық - бұл AIXTRON G5 + реакторларына арналған, біркелкі жылу бөлу, химиялық тұрақтылықты және эпитаксиальды қабаттардың жоғары деңгейіне арналған жоғары сапалы графит компоненті.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Sice жабыны жалпақ бөлігі - бұл SIC Epitaxy процесінде ауа ағынының біркелкі өткізгіштігі үшін маңызды графит компоненті. Subicorex дәл сапамен дәлдікпен индекстелген шешімдерді жеткізеді, жартылай өткізгіш өндіріс үшін оңтайлы өнімділікті қамтамасыз ету. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SiC жабын компоненті жартылай өткізгіштерді өндірудегі негізгі кезең болып табылатын SiC эпитаксистік процесінің күрделі талаптарын қанағаттандыруға арналған маңызды материал болып табылады. Ол кремний карбиді (SiC) кристалдарының өсу ортасын оңтайландыруда маңызды рөл атқарады, соңғы өнімнің сапасы мен өнімділігіне айтарлықтай үлес қосады.*
Ары қарай оқуСұрау жіберу