TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
|
Жобалар |
Параметрлер |
|
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
|
Эмиссивтілік |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Қаттылық (HK) |
2000 |
|
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
|
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
|
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex кеуекті тантал карбиді сақиналары ерекше термиялық тұрақтылық пен бақыланатын газ өткізгіштігін ұсынатын монолитті агломерленген құрылымы бар кремний карбиді (SiC) кристалының өсуінің физикалық бу тасымалдау (PVT) процесі үшін арнайы әзірленген жоғары өнімді отқа төзімді компоненттер.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған графит пластинкалы қабылдағыштары жартылай өткізгішті эпитаксиалды процестер кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды тұрақты қолдау және орналастыру үшін әдетте қолданылатын озық компоненттер болып табылады. Ең озық өндіріс технологиялары мен жетілген өндірістік тәжірибені пайдалана отырып, Semicorex біздің қымбатты тұтынушыларымыз үшін нарықтағы жетекші сапамен тапсырыс бойынша әзірленген TaC жабыны бар графит пластинкаларынан жасалған қабылдағыштарды жеткізуге ұмтылады.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex CVD TaC қапталған қабылдағыштары SiC эпитаксиалды өсу процестерін талап ететін тамаша термиялық біркелкі және коррозияға төзімділікпен қамтамасыз етуге арналған, тығыз TaC жабыны бар жоғары өнімді графиттік сенсорлар. Semicorex жаһандық SiC epi өндірушілері сенім артқан ұзаққа созылатын, ластануы аз сепкіштерді қамтамасыз ету үшін CVD жабынының озық технологиясын қатаң сапаны бақылаумен біріктіреді.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналар жартылай өткізгіш кристалды өсіретін жабдықта қолданылатын жоғары өнімді сақина компоненттері болып табылады. Олар кристалдардың өсуі кезінде қолайлы температура градиенті мен тұрақты ауа ағыны ортасын жасау үшін арнайы жасалған. Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналарды таңдау арқылы сіз теңдесі жоқ жабын технологиясы мен жоғары тиімді және тұрақты өндіріс тәжірибесінің пайдасын көресіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған графитті тигель жартылай өткізгішті өндіру процесінде қолданылатын ең қолайлы материал болып табылатын CVD әдісі арқылы тантал карбиді жабын графиті арқылы жасалады. Semicorex - бұл тұрақты түрде CVD керамикалық жабынына маманданған және жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі ең жақсы материал шешімдерін ұсынатын компания.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуЭпитаксиальды өсудегі Sumicorex Tac қапталған компоненттері - жартылай өткізгіштегі эпитаксиальды процесте орналасқан бағалы өңделген бөлігі. Subicorex - бұл Қытайдағы TAD CLVING COMPLATE технологиясымен мамандандырылған және бүкіл әлем бойынша өнімдерді экспорттайтын топ-ночель компаниясы. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу