Камера қақпақтары тұндыру камераларында таза, инертті және қорғалған ортаны жасау үшін пайдаланылады, сондықтан олар тұндыру немесе тазарту процестері кезінде плазма мен жоғары температураның әсеріне ұшырайды. Semicorex камерасының қақпақтары химиялық буларды тұндыру (CVD) әдісімен кремний карбидімен қапталған берік керамикалық құрамдас бөліктер болып табылады, бұл қиын орталарға төтеп беруге тамаша.