Қытай Жартылай өткізгіш компоненттер Өндірушілер, Жабдықтаушылар, Зауыт

Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температура және химиялық төзімді, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.

Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графиттік сенсорларға дейін.

Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары

Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.

Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.

Соңғы эффектор →
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.

Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.

Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.

Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.