SiC көлденең пеш түтігі

Semicorex SiC көлденең пеш түтігі көлденең диффузиялық және термиялық өңдеу пештерінде қолданылатын дәл керамикалық технологиялық түтік болып табылады. Түтік жоғары температурадағы жұмыс кезінде жартылай өткізгіш пластиналар үшін тұрақты және басқарылатын реакция ортасын жасайды.

Көрсетілген өнім озық 3D басып шығару технологиясы арқылы жасалған біріктірілген бір бөлікті құрылымды ұсынады. Жұмыс кезінде пеш түтігі реактивті және қорғаныш газ атмосферасының әсеріне ұшырайды, оның ішінде:

* Оттегі (реакциялық газ)

* Азот (қорғаныс газы)

* Аз мөлшерде хлорсутек (HCl)

Жұмыс температурасы шамамен 1250°C-қа жетуі мүмкін, бұл материалдың ұзартылған өндірістік циклдер кезінде тамаша термиялық тұрақтылықты, химиялық тұрақтылықты және құрылымдық тұтастығын сақтауды талап етеді.

Дәстүрлі кварц пештерінің түтіктерімен салыстырғанда,SiCпеш түтіктері жоғары жылу өткізгіштік, жоғары механикалық беріктік және термиялық соққыға және коррозиялық процесс жағдайларына айтарлықтай жақсартылған төзімділікті қамтамасыз етеді.

SiC көлденең пеш түтіктерінің негізгі ерекшеліктері

Жетілдірілген 3D басып шығарылған біріктірілген құрылым

Пеш түтігі 3D басып шығарудың жетілдірілген бір бөлікті қалыптастыру технологиясын қабылдайды, бұл компонентке тамаша өлшемдік консистенциямен күрделі геометрияларға қол жеткізуге мүмкіндік береді.

Біріктірілген құрылым бірнеше артықшылықтарға ие:

* Қысқартылған құрастыру интерфейстері

* Құрылымдық беріктігі жақсарды

* Жақсартылған тығыздау өнімділігі

* Жақсырақ жылу біркелкілігі

* Термиялық цикл кезінде жоғары сенімділік

Бұл өндіріс әдісі сонымен қатар әртүрлі жартылай өткізгіш пештер жүйелері үшін теңшелген конструкцияларды жасауға мүмкіндік береді.

Өте төмен қоспасы бар мазмұн

Жартылай өткізгішті өндіруде тазалық маңызды. SiC пеші түтігінің негізгі материал қоспасының мөлшері 100 PPM төмен бақыланады, ал CVD кремний карбиді жабынының қоспасының мөлшері 1 PPM төмен.

Өте жоғары тазалық жартылай өткізгішті өңдеу кезінде ластану қаупін азайтуға көмектеседі, пластинаның тұрақты сапасын және құрылғының жақсартылған өнімділігін қамтамасыз етеді.

Төмен ластану өнімділігі әсіресе мыналар үшін маңызды:

* Кремний пластинасының диффузиясы

* Тотығу процестері

* Қуатты жартылай өткізгіштерді өндіру

* Жетілдірілген интегралдық схемаларды жасау

* Құрама жартылай өткізгіштерді өңдеу

Жоғары жылу өткізгіштік

Кремний карбиді кәдімгі пеш материалдарымен салыстырғанда тамаша жылу өткізгіштігін көрсетеді. Тиімді жылу беру пеш түтігіне бүкіл технологиялық камерада жоғары біркелкі температураның таралуын сақтауға мүмкіндік береді.

Біркелкі жылу өнімділігі көмектеседі:

* Процестің үйлесімділігін жақсарту

* Температура градиенттерін азайтыңыз

* Вафельдің кернеуін азайтыңыз

* Процестің қайталануын жақсарту

* Нақты термиялық бақылауды қолдау

Бұл әсіресе температураның біркелкілігі пластинаның сапасына тікелей әсер ететін жоғары температуралы диффузия және тотығу процестерінде өте маңызды.

Тамаша термиялық соққы тұрақтылығы

Жартылай өткізгішті пештер жиі жылдам қыздыру және салқындату циклдарын бастан кешіреді. SiC Көлденең пеш түтіктері термиялық соққыға тамаша төзімділікті қамтамасыз етеді, бұл оларға температураның қатты ауытқуларына крекингсіз немесе деформациясыз төтеп беруге мүмкіндік береді.

Тамаша термиялық соққы тұрақтылығы жұмыс сенімділігін арттырады және үздіксіз жоғары температуралық өндіріс жағдайында қызмет ету мерзімін ұзартады.

Күшті CVD SiC жабынының адгезиясы

TheCVD кремний карбиді жабынысубстратпен берік байланыстыратын жоғары тығыз және берік қорғаныс беткі қабатын құрайды.

Қаптама мыналарды қамтамасыз етеді:

* Коррозияға тамаша төзімділік

* Тозуға төзімділігі жоғары

* Жақсартылған бет тазалығы

* Жоғары химиялық тұрақтылық

* Агрессивті ортада қызмет ету мерзімі ұзартылған

Қаптаманың күшті адгезиясы сонымен қатар ұзақ мерзімді жұмыс кезінде пилингті немесе деградацияны болдырмауға көмектеседі.

Күшті қышқылды тазалауға төзімділік

Жартылай өткізгішті өндіруде технологиялық құрамдас бөліктер жиналған қалдықтар мен ластаушы заттарды кетіру үшін жиі мерзімді химиялық тазалауды қажет етеді. SiC пешінің түтігі қайталанатын техникалық қызмет көрсету циклдарынан кейін тұрақты бет сапасы мен құрылымның тұтастығын сақтай отырып, күшті қышқыл тазалау процестеріне тамаша қарсылық көрсетеді.

Бұл сипаттама тоқтау уақытын азайтуға көмектеседі және ұзақ мерзімді процесс тұрақтылығын қолдайды.

SiC көлденең пеш түтіктерін қолдану

SiC көлденең пеш түтіктері жартылай өткізгішті термиялық өңдеу жабдықтарында кеңінен қолданылады, соның ішінде:

* Вафельді тотығу жүйелері

* Жартылай өткізгішті диффузиялық пештер

* Күйдіруге арналған жабдық

* LPCVD жүйелері

* Термиялық өңдеу камералары

* Кремний пластинасын өндіру

* Қуатты жартылай өткізгіштерді өндіру

* SiC және GaN жартылай өткізгіштерін өңдеу

Олар әсіресе ультра таза ортаны, жоғары термиялық тиімділікті және тамаша химиялық төзімділікті қажет ететін жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестер үшін қолайлы.

Неліктен Semicorex SiC көлденең пеш түтіктерін таңдау керек?

Semicorex талап етілетін термиялық технологиялық орталар үшін жасалған жартылай өткізгішті кремний карбиді компоненттеріне маманданған. Біздің SiC көлденең пеш түтіктері сенімді ұзақ мерзімді өнімділікті қамтамасыз ету үшін жоғары таза материалдарды, озық CVD жабын технологиясын және дәл сапаны бақылау жүйелерін пайдалана отырып жасалған.

Біз қамтамасыз етеміз:

* Жоғары тазалықSiC материалдары

* Дәл 3D біріктірілген өндіріс

* Тамаша термиялық және химиялық тұрақтылық

* CVD жабынының күшті адгезиясы

* Реттелетін өлшемдер мен құрылымдар

* Жартылай өткізгішті ластануды бақылау

* Сенімді жаһандық техникалық қолдау

Жетілдірілген керамикалық материалдар мен жартылай өткізгішті технологиялық қолданбаларда кең тәжірибесі бар Semicorex бүкіл әлем бойынша келесі ұрпақ жартылай өткізгіш өндірісін қолдайтын жоғары өнімді SiC шешімдерін ұсынады.