Кремнийдің қисық электродтары

Жетілдірілген өңдеу жабдығы кезінде кремний иілген электрод әдетте жартылай өткізгішті пластинаға қаратып ою камерасының жоғарғы жағына орнатылады. Кремний қисық электрод әдетте электростатикалық патронмен, Si фокус сақинасымен, Si жиегі сақинасымен, Si шығару сақинасымен және Si экрандау сақинасымен бірге жұмыс істейді, бұл жоғары дәлдіктегі ою үшін оңтайлы жұмыс жағдайларын қамтамасыз етеді.

Semicorex кремний иілген электродтарының функциялары

1. Күрделі 3D құрылымды оюмен үйлесімді

Ерекше 3D электр өрісін басқару мүмкіндігімен, Semicorexкремнийлі қисық электродтаркүрделі құрылымдардың геометриялық сипаттамаларына тамаша сәйкес келеді. Арнайы қисық дизайн дәл плазманы басқаруға және энергияны оңтайландырылған бөлуге мүмкіндік береді, бұл 3D құрылымын оюлаудың арақатынасы мен бүйірлік тіктігіне айтарлықтай әсер етеді және жетілдірілген орау процестері мен 3D IC интеграциясының өндірістік желісінің талаптарына толық жауап береді.

2. Этч газының таралуын дәл бақылау

Semicorex кремнийдің қисық электродтары тегістеу камерасына ену газы үшін олардың бетінде біркелкі бөлінген бірнеше микро-тесіктерге ие. Semicorex кремний иілген электродтары газды дәл бақылауға қол жеткізе алады және оны өңдеу камерасында біркелкі бөлуге мүмкіндік береді, осылайша газдың біркелкі емес бөлінуінен туындайтын технологиялық өзгерістерді азайтады.

Semicorex кремний иілген электродтарының артықшылықтары

1. Өте жоғары тазалық

Semicorex кремний иілген электродтары өте жоғары таза монокристалдан жасалғанкремнийтазалық деңгейі 99,9999999% жоғары, плазма эрозиясына жоғары төзімділік береді. Бұл жоғары стандартты материалды таңдау жанама өнімдерді өңдеу нәтижесінде пайда болатын қажетсіз ластануды тиімді болдырмайды, сонымен қатар кремний қисық электродтардың қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады.

2. Өте жақсы электрлік қасиеттер

MCZ-де өсірілген бір кристалды кремнийден жасалған, Semicorex кремний қисық электродтары кедергінің тамаша біркелкілігін көрсетеді: ＜5% және кең таңдауға болатын кедергі диапазоны: төмен рұқсат. (<0,02), ортаңғы рез. (1–4) және жоғары ажыратымдылық. (70–90).

3. Өңдеудің дәлдігі

Жоғары дәлдіктегі механикалық өңдеу арқылы Semicorex кремний иілген электродтары тесігінің біркелкі өлшеміне және тесіктердің біркелкі таралуына қол жеткізеді. Олардың беттері жақсы жылтыратылған және ұнтақталған: жылтыратылған (Ra < 0,1 мкм) және ұнтақталған (Ra < 1,6 мкм), жалпы өңдеу дәлдігі 0,03 мм шегінде бақыланады.