Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температураға және химиялық төзімділікке ие, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті дайындауда қолданылады.
Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графитті қабылдағыштарға дейін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе ион имплантаты сияқты пластинаны өңдеу жоғары температура мен қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары â
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Соңғы эффектор â
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.
Кіріс сақиналары â
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы â
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак â
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Қытайдағы біздің сарапшылар тобы әзірлеген және өндірген Вафельді тасымалдау қолын таныстыра отырып, бұл өнім нәзік бетке зақым келтірмей, пластиналарды бір жерден екінші жерге қауіпсіз және тиімді тасымалдауды қамтамасыз ету үшін арнайы әзірленген.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex жетілдірілген, тазалығы жоғары кремний карбидімен қапталған компоненттер пластинаны өңдеу процесінде төтенше орталарға төтеп беру үшін жасалған. Біздің жартылай өткізгіш вафельді Чак жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуКелесі буын литографиясы және вафельді өңдеу қолданбалары үшін өте қолайлы, Semicorex ультра таза керамикалық компоненттері аз ластануды қамтамасыз етеді және өте ұзақ қызмет мерзімін қамтамасыз етеді. Біздің вафельді вакуумдық патрон жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуЖартылай өткізгішті өңдеуге арналған Semicorex берік фокус сақиналары жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын плазмалық өңдеу камераларының төтенше орталарына төтеп беруге арналған. Біздің фокус сақиналарымыз тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған. SiC жабыны жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Фокус сақиналарымыздың қызмет ету мерзімін жақсарту үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдаланып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex плазмалық өңдеу фокус сақинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі плазмалық өңдеудің жоғары талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Біздің жетілдірілген, жоғары таза кремний карбидімен қапталған компоненттеріміз төтенше орталарға төтеп беру үшін жасалған және кремний карбиді қабаттары мен эпитаксистік жартылай өткізгіштерді қоса алғанда, әртүрлі қолданбаларда пайдалануға жарамды.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex жетілдірілген, тазалығы жоғары SiC фокус сақиналары плазмалық тазарту (немесе құрғақ тазарту) камераларындағы төтенше орталарға төтеп беру үшін жасалған. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Біздің өнімдер жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу