Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температура және химиялық төзімді, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графиттік сенсорларға дейін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Соңғы эффектор →
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Subicorex кремний тұғырының қайықтары - бұл жоғары температуралы тотығу, диффузия және LPCVD процестерінде дәл және тұрақты вафлиге арналған вафли-вафли-вафли-тасымалдаушы. Кездейсоқ материалдық тазалық, дәл өңдеу, дәл өңдеу және дәлелденген сенімділігі үшін Subicorex таңдаңыз *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кремний инжекторы - бұл LPCVD полисиликонның далалық және ластану-ластану-ластану-ластануға арналған, ластану-ластануға арналған керемет компоненттер. Өнеркәсіпке жетекші тазалық, дәл өңдеу және дәлелденген сенімділігі үшін Subicorex таңдаңыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кремний вафли қайықтары - бұл 1200-1250 ° C температурада тотығу және азайту процестері кезінде жоғары температура пештеріне арналған жоғары температуралы пештерге арналған жоғары сапалы тасымалдаушы. SubicoreX Құрылғының өнімділігін тікелей жақсартатын керемет өнімдер, ультра таза өнімділік және сенімді нәтижелер береді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex кремний қалқаны - бұл қорғаныс қалқаны да, қосалқы электрод ретінде қызмет ететін кеңейтілген плазмалық жүйелер үшін жасалған жоғары сапалы кремний компоненті. Subicorex ультра таза өнімділікті, процесстің тұрақтылығын және дәлдігін жобаланған жартылай өткізгіш компоненттермен жоғары нәтижелерді қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Sice Ceram Ceramer - бұл жоғарғы температуралық пештер үшін, ең алдымен тотығу және диффузиялық процестерде қолданылатын жоғары сапалы кантилевер. Subicorex таңдау дегеніміз - маңызды вафли қолдануға арналған ерекше тұрақтылық, тазалықты және беріктігін қамтамасыз ететін жетілдірілген керамикалық шешімдерге қол жеткізуді білдіреді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SIC ЖАҢА КОНЦЕССИКАЛЫҚ КӨМЕКТЕСІ ЖАСАМАСЫЗ ОНТИКАЦИЯЛЫҚ КОМПАНИЯЛЫҚ КОМПЬЮТЕРЛІК КОМПЬЮТЕРІ Эпитаксиалды жабдықтардың маңызды элементтері ретінде жасалған, онда екі жарты ай тәрізді бөлімдері толық негізгі құрастыруды қалыптастыру үшін біріктіріледі. Subicorex таңдау дегеніміз - бұл сенімді, жоғары тазалық және тұрақты шешімдерді қамтамасыз ету - бұл ұзақ вафли қолдауын қамтамасыз ететін және алдыңғы қатарлы жартылай өткізгішті өндіріске арналған ыстықты қамтамасыз етуді қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу