Кәсіби өндіруші ретінде біз сізге жартылай өткізгіш компоненттерін ұсынғымыз келеді. Semicorex - жартылай өткізгіштерді өңдеуді жақсарту бойынша серіктесіңіз. Біздің кремний карбидті жабындарымыз тығыз, жоғары температура және химиялық төзімді, олар көбінесе жартылай өткізгішті өндірудің бүкіл циклінде, соның ішінде жартылай өткізгіш пластиналар мен пластиналарды өңдеу және жартылай өткізгішті өндіруде қолданылады.
Жоғары таза SiC қапталған компоненттер жартылай өткізгіштегі процестер үшін өте маңызды. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графиттік сенсорларға дейін.
Жартылай өткізгіш процестердің артықшылықтары
Эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықша тұндыру фазалары немесе опаттау немесе иондық имплантация сияқты пластинаны өңдеу жоғары температураға және қатал химиялық тазалауға төзімді болуы керек. Semicorex жоғары таза кремний карбидімен (SiC) қапталған графит конструкциясы жоғары ыстыққа төзімділік пен ұзақ химиялық төзімділікті, тіпті эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен төзімділігі үшін термиялық біркелкілікті қамтамасыз етеді.
Камера қақпақтары →
Кристаллды өсіру және вафельді өңдеу кезінде қолданылатын камера қақпақтары жоғары температураға және қатты химиялық тазалауға төзімді болуы керек.
Соңғы эффектор →
Соңғы эффектор – жартылай өткізгіш пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы.
Кіріс сақиналары →
MOCVD жабдығы арқылы SiC қапталған газ кіріс сақинасы Құрама өсудің жоғары жылу және коррозияға төзімділігі бар, ол төтенше ортада үлкен тұрақтылыққа ие.
Фокус сақинасы →
Semicorex компаниясының кремний карбидімен қапталған фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатты химиялық тазалау үшін шынымен тұрақты.
Вафель Чак →
Semicorex ультра жалпақ керамикалық вакуумды вафельді патрондар пластинаны өңдеу процесінде қолданылатын жоғары таза SiC қапталған.
Subicorex Sice жылыту жіптері - бұл семиниконмен қапталған кәріге арналған қапталған графитті графитті графит жылытқышы. Subicorex таңдау дегеніміз - жоғары тазалық материалдарды, дәлдіктерді, дәлдікті теңшеу және ең көп талап етілетін жылу процестері үшін ұзақ уақытқа созылатын сенімді серіктесті таңдауды білдіреді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Silicon Carbide Chucks фотолитографиялық жабдыққа арналған және жоғары дәлдік, ультра жеңіл, жоғары қаттылық, жылу кеңеюі, жылу кеңеюі және өте жақсы қарсылық сияқты көптеген артықшылықтарға ие.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Sic Pounthace түтіктері - жоғары температуралы фотоэлектрлік процестерге арналған, жетілдірілген 3D басып шығару технологиясымен шығарылған жоғары тазалық кремний карбиді түтігі. SubicoreX SICE-дің SIC SIC SIME SICE SELUTS-тің жоғары күші, тұрақтылығы және сенімділігі бүкіл әлем бойынша сенімді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex SIC жастықшалары - бұл жоғары температуралы тотығу және диффузиялық пештерде вафлиді тасымалдауға арналған жоғары тазалық кремний карбид Subicorex таңдау дегеніміз - бұл нақты материалдық сапаны, дәл инженерияны және ұзақ мерзімді сенімділікті, жетекші жартылай өткізгіш табалардың сенімді болуын білдіреді.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex Sice Focus Ring - бұл плазмалық үлестірімді оңтайландыруға арналған жоғары сапалы кремний карбиді сақинасы және жартылай өткізгіш өндірісіндегі процестердің біркелкілігін оңтайландыруға арналған. Subicorex таңдау дегеніміз - тұрақты сапаны, озық материалдық инженерияны және дүниежүзілік жетекші жартылай өткізгіштіктердің сенімді өнімділігін қамтамасыз ету.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSubicorex Wafer Exfer Greinding Chuck - бұл жоғары тазалықтағы ақ түлектерден жасалған керамикалық диск - бұл жартылай өткізгіштердегі вафлиді тегістеуге арналған. Subicorex таңдау маңызды материалдық сапаны, дәл инженерлік және вафлиді қайта өңдеудің ең талапты ортасын қолдайтын сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді. *
Ары қарай оқуСұрау жіберу