TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex TaC қапталған графит бөлігі - бұл термиялық тұрақтылық пен химиялық төзімділікті арттыратын берік тантал карбиді жабыны бар, SiC кристалының өсуі мен эпитаксистік процестерінде пайдалануға арналған жоғары өнімді компонент. Біздің инновациялық шешімдеріміз, жоғары өнім сапасы және жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің талап етілетін қажеттіліктерін қанағаттандыруға бейімделген сенімді, ұзаққа созылатын компоненттерді қамтамасыз ету тәжірибесі үшін Semicorex таңдаңыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған графит патроны - жартылай өткізгіш өндірісіндегі пластинаны дәл өңдеуге және жоғары температуралық процестерге арналған жоғары өнімді компонент. Жартылай өткізгіштерді қажет ететін қолданбаларда оңтайлы өнімділік пен ұзақ қызмет мерзімін қамтамасыз ететін инновациялық, берік өнімдері үшін Semicorex таңдаңыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC сақинасы газ ағынының оңтайлы таралуын және температураны бақылауды қамтамасыз ететін SiC монокристалының өсуіне арналған жоғары өнімді құрамдас болып табылады. Жартылай өткізгіш процестеріңіздің тиімділігі мен сапасын арттыратын берік және сенімді шешімдерді ұсынатын жетілдірілген материалдар мен дәл инженерия саласындағы тәжірибеміз үшін Semicorex таңдаңыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбиді бөлігі - тамаша температура мен химиялық төзімділікті ұсынатын кремний карбиді (SiC) кристалды өсіру қолданбаларында жоғары өнімділікке арналған TaC қапталған графит құрамдас бөлігі. Жартылай өткізгіштер өндірісінде кристалл сапасы мен өндіріс тиімділігін арттыратын сенімді, жоғары сапалы компоненттер үшін Semicorex таңдаңыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбиді сақиналары жартылай өткізгіштерді өндірудің озық процестерінде қолданылатын маңызды компоненттер болып табылады. Ерекше қаттылығымен, жоғары балқу температурасымен және химиялық инерттілігімен танымал, Semicorex-те біз сапа мен өнімділіктің ең жоғары стандарттарына сәйкес келетін өнімдерді жеткізуге тырысамыз, бұл біздің клиенттеріміздің жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі инновациялардың алдыңғы қатарында болуын қамтамасыз етеді.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қаптамасының вафельді сіңіргіші — тантал карбидімен қапталған графит науасы, пластинаның сапасы мен өнімділігін арттыру үшін кремний карбидінің эпитаксиалды өсуінде қолданылады. Жетілдірілген жабын технологиясы және SiC эпитаксисінің жоғары нәтижелері мен сезімталдықтың ұзартылған қызмет ету мерзімін қамтамасыз ететін берік шешімдер үшін Semicorex таңдаңыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберу