TAC қапталған планетарлық нөмір

Subicorex Tac Планетарлық тақтайша - бұл бірнеше вафли қалталары бар планетарлық қозғалыс және газ шығынын оңтайландырылған планетарлық қозғалысқа арналған жоғары дәлдіктегі компонент. Subicorex таңдау дегеніміз - жартылай өткізгіш өнеркәсіптің ерекше беріктігін, тазалыққа және технологиялық тұрақтылығын қамтамасыз ететін жетілдірілген жабын технологиясына және инженерлік сараптамаға қол жеткізуді білдіреді. *

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Semicorex TAD PlanetAl Planity Planety Plaited MOCVD реакторларында кілт компоненті ретінде қызмет етеді, бұл жер бетінде орналасқан көптеген вафли қалталарымен сипатталатын планетарлық дизайнды ұсынады. Бұл қалталар кез-келген эпитаксиальды қабаттың өсу кезеңінде, субстрат вафаланстарының өсу кезеңінде, тұрақтандыру және процесс температурасы бойынша субстрат қозғалысын азайту үшін арнайы жасалған. Нақты қалта геометриясы дәйекті вафлиді ұсынады, бұл эпитаксиальды қабаттардың біркелкі қалыңдығы және бірдей процессте өскен барлық вафли үшін субстрат ақауларының біркелкілік деңгейлері үшін маңызды.

Планеталық тақтаның маңызды дизайнерлік аспектісі, тағы бір рет, пластинаның бетіне жұқа газ ағындарының тесіктері инженерлік. Бұл тесіктер әр вафлидің ішінде арнайы газдардың ағынын өлшеу үшін мұқият жобаланған және стратегиялық түрде орналастырылған, сондықтан әр вафлидің біркелкі газ таралуы және тіпті тұндыруға қол жеткізіледі. Кез-келген Mocvd процесінде газ динамикасының аспектілері кинофильмдердің, қалыңдығының біркелкілігін және жалпы құрылыстың жұмысын анықтауда өте маңызды. Оңтайландырылған тесік дизайныTAC қапталғанTAC Planetar Planetar Planetar Plane Longegenity және беріктігі оны MOCVD жүйелеріне үнемді таңдау жасайды. Ұзартылған мерзімдерді пайдалану кезінде құрылымдық тұтастық пен өнімділіктің тұрақтылығын сақтау кезінде тұрақты жылу велосипедімен және төтенше процесс газдарына әсер етуі мүмкін.

ТаTAC (тантал карбиді) жабыныӘрі қарай планетарлық тақтаның жұмысы мен өмірін одан әрі кеңейтеді. Тантал Карбиді өте қиын, химиялық түрде инертті және термиялық өткізгіш, бұл оны экстремалды MOCVD орталарына тамаша жабады. Эпитакси кезінде реактордағы компоненттер жоғары температураға, реактивті прекурсорлық газдармен және плазмалық әсерге ұшырайды. TAC жабыны коррозияға, тотығуға, тотығуға және бөлшектердің ұрпақтарына жоспарланған немесе шартты түрде жабылған пластинадан айтарлықтай ұзартылуына әкеледі.

TAC Planetar Planetar Planetar Plane Longegenity және беріктігі оны MOCVD жүйелеріне үнемді таңдау жасайды. Ұзартылған мерзімдерді пайдалану кезінде құрылымдық тұтастық пен өнімділіктің тұрақтылығын сақтау кезінде тұрақты жылу велосипедімен және төтенше процесс газдарына әсер етуі мүмкін.