TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex TaC қаптамасының бағыттаушы сақинасы эпитаксиалды өсу процесі кезінде прекурсорлық газдардың дәл және тұрақты жеткізілуін қамтамасыз ететін металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) жабдығының негізгі бөлігі ретінде қызмет етеді. TaC жабынының бағыттаушы сақинасы MOCVD реакторының камерасында табылған төтенше жағдайларға төтеп беруге өте ыңғайлы ететін бірқатар қасиеттерді білдіреді.**
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC Coating Wafer Chuck жартылай өткізгіштердің эпитаксистік процесіндегі инновацияның шыңы, жартылай өткізгіштер өндірісіндегі маңызды кезең болып табылады. Бәсекеге қабілетті бағамен жоғары сапалы өнімді жеткізу міндеттемесін ескере отырып, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға дайынбыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуTaC жабыны бар Semicorex MOCVD қабылдағыш - MOCVD жүйелеріндегі жартылай өткізгіш эпитаксистік процестерде оңтайлы өнімділік үшін мұқият жасалған озық компонент. Semicorex жоғары бәсекеге қабілетті бағамен жоғары өнімді жеткізуге деген міндеттемемізде мызғымайды. Біз сіздермен Қытайда тұрақты серіктестік орнатуға дайынбыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex CVD TaC қапталған сақинасы жартылай өткізгіштерді өңдеуде маңызды құрамдас болып табылады, ол қазіргі заманғы материалдар жасаудың шарықтау шегін білдіреді. Дәлдік пен сенімділік үстемдік ететін ең қатал орталарда іске асыру үшін жасалған бұл сақина икемді материалтанумен жабынның озық әдістерін біріктіреді. Semicorex жоғары деңгейлі өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен тұрақты түрде жеткізеді және біз Қытайда сізбен ұзақ мерзімді серіктестік орнатуды асыға күтеміз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған планеталық қабылдағыш - жартылай өткізгішті өндірудің эпитаксиалды процестерінде қолдануға арналған жоғары мамандандырылған компонент. Semicorex жоғары сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен жеткізуге бағытталған. Біз сіздермен Қытайда ұзақ мерзімді серіктестік орнатуға дайынбыз.*
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбиді қаптамасының бағыттаушы сақинасы кремний карбиді (SiC) кристалдарының өсуінде шешуші рөл атқаратын жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін арнайы әзірленген жетілдірілген компонент болып табылады. Бұл өнім жартылай өткізгіш кристалдардың өсу процестеріне тән жоғары температура мен жоғары кернеулі орталардың қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберу