TaC жабынының графиті жоғары таза графит субстратының бетін меншікті химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі арқылы тантал карбидінің жұқа қабатымен жабу арқылы жасалады.
Тантал карбиді (TaC) — тантал мен көміртектен тұратын қосылыс. Оның металдық электр өткізгіштігі және ерекше жоғары балқу температурасы бар, бұл оны беріктігі, қаттылығы және ыстыққа және тозуға төзімділігімен танымал отқа төзімді керамикалық материал етеді. Тантал карбидтерінің балқу температурасы тазалығына байланысты шамамен 3880 ° C-қа жетеді және бинарлы қосылыстар арасында ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие. Бұл жоғары температура талаптары MOCVD және LPE сияқты құрама жартылай өткізгіштердің эпитаксиалды процестерінде қолданылатын өнімділік мүмкіндіктерінен асып кеткенде оны тартымды балама етеді.
Semicorex TaC Coating материалының деректері
Жобалар |
Параметрлер |
Тығыздығы |
14,3 (гм/см³) |
Эмиссивтілік |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Қаттылық (HK) |
2000 |
Қарсылық (Ом-см) |
1×10-5 |
Термиялық тұрақтылық |
<2500℃ |
Графит өлшемін өзгерту |
-10~-20um (анықтамалық мән) |
Қаптау қалыңдығы |
≥20um типтік мән (35um±10um) |
|
|
Жоғарыдағылар типтік мәндер |
|
Semicorex Tantalum Carbide Chuck - жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарында қолданылатын озық компонент, ерекше жылу және механикалық қасиеттерімен танымал. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған сақинасы осы күрделі талаптарға жауап беретін маңызды құрамдас болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC жабынымен қапталған душ басы теңдесі жоқ өнімділік пен ұзақ өмір сүруді қамтамасыз ететін химиялық бу тұндыру процесінің ажырамас бөлігі болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex TaC қапталған патрон жартылай өткізгіштерді өндіру саласындағы айтарлықтай жетістік болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберуTaC жабыны бар Semicorex кеуекті графиті кремний карбиді (SiC) кристалдарының өсуіндегі маңызды мәселелерді шешуге арналған арнайы материал болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберуSemicorex тантал карбидімен қапталған кеуекті графит кремний карбиді (SiC) кристалдарын өсіру технологиясындағы соңғы инновация болып табылады. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз*.
Ары қарай оқуСұрау жіберу