SIC жабылған вафли

SEMCOREX SIC ҚОСЫМША Ватфер-тасымалдаушылар - бұл эпитаксиалды өсу, диффузия және CVD сияқты жартылай өткізгіш қосымшалардағы жоғары температуралы процестерге арналған вафлиді қолдайтын алдыңғы қатарлы компоненттер. Тасымалдаушылар тығыз және форманы қолдану арқылы беттік артықшылықтармен біріктірілген жоғары тазалық графиттен құрылымдық артықшылықтар бередіSic жабыныОңтайлы термиялық тұрақтылық, химиялық тұрақтылық және қауіпті өңдеу жағдайларындағы механикалық беріктік үшін.

Оңтайлы жылу өткізгіштік үшін жоғары сапалы графит өзегі

SIC қапталған вафли-вафли - бұл ультра ұсақ дәнді, жоғары тазалық графиті субстрат материалы. Бұл тиімді жылу өткізгіш, жеңіл және өңделетін, оны кешенді геометрияға және технологиялық факторларға талап ететін күрделі геометрияға бөлуге болады. Графит жылу градиенттерінің пайда болуын және жылу өңдеу ақауларының вафли бетіне біркелкі жылытуды ұсынады.

Беткі қорғаныс және технологиялық үйлесімділік үшін тығыз Sic жабыны

Графит тасымалдаушысы жоғары тазалықпен, CVD кремний карбидімен қапталған. SIC жабыны сутек, хлор және силель сияқты түрлерден коррозиядан, тотығудан және газдың ластануынан өткізбейтін, тотығуды қамтамасыз етеді. Нәтижесі - бұл аз бөлшектер, қатаң тұрақтылықты жоғалтпайтын немесе жоғалтпайтын, көптеген термиялық циклдер үшін және вафли ластану үшін ықтимал ықтимал әлеуетті білдіретін төмен бөлшектер, қатаң тасымалдаушы.

Артықшылықтары мен негізгі ерекшеліктері

Жылуларға төзімділік: SIC жабындары температурасы 1600 ° C-тан асады, ол жоғары температура эпитаксиясы және диффузиялық қажеттіліктері үшін оңтайландырылған.

Тамаша химиялық төзімді: ол барлық коррозиялық өңделеді және химиялық заттарды тазартады және ұзақ уақытқа және аз уақытқа созылады.

Бөлшектердің төмен деңгейі: SIC беті қабыршақтану мен бөлшектердің төгілуін азайтады және құрылғының кірістілігі үшін өте маңызды процессор ортасын тазартады.

Лшемді басқару: вафлидің бірыңғай қолдауын қамтамасыз ету үшін дәл инженерленген, оны вафлимен автоматты түрде шешуге болатындай етіп жабыңыз.

Шығындарды азайту: ұзақ өмірлік циклдер және техникалық қызмет көрсету қажеттіліктері дәстүрлі графитке немесе жалаңаш тасымалдаушыларға қарағанда жалпы меншік құқығын (ТШО) төмендетеді.

Өтініштер:

SIC қапталған вафли тасымалдаушылары электр қуатының жартылай өткізгіштерін, құрама жартылай өткізгіштерді (мысалы, ган, Әйк), мемистер сияқты, мемистер, мемистер сияқты және агрессивті химиялық ортада өңдеуді қажет ететін басқа да құрылғыларда кеңінен қолданылады. Олар әсіресе эпитаксиальды реакторларда, мұнда бетті тазалық, беріктік және жылу біркелкілігі вафлидің сапасы мен өндіріс тиімділігіне тікелей әсер етеді.

Реттеу және сапаны бақылау

SubicorexSic жабылдыВафли тасымалдаушылар сапаны бақылаудың қатаң хаттамаларында шығарылады. Сонымен қатар бізде стандартты өлшемдер мен конфигурациялар бар икемділік бар, және біз тұтынушының талаптарына сай инженерлік шешімдерді қотарып аламыз. Сізде 4 дюймдік немесе 12 дюймдік вафли формасы бар ма, біз вафлиді көлденең немесе тік реакторларға, партияға немесе бір вафлиді өңдеуге және арнайы эпитакси рецептеріне оңтайландыруға болады.