Жоғарғы жарты ай

Subicorex жоғарғы жарты ай - бұл эпитаксиальды өңдеу жабдықтарына арналған жартылай дөңгелек вафлиді тасымалдаушы. Эпитаксиальды өсу процесінде сезімтал сезімтал компонент ретінде, бұл бөлім жоғары температуралы химиялық бумені (CVD) кезінде кремнийді вафлиді қолдауға және тұрақтандыруға арналған. Жоғары тазалық графиттен жасалған және бірыңғай кремний карбидімен (SIC) жабылған, жоғарғы жарты айдың жоғарғы жартысы механикалық берік, керемет термиялық өткізгіштік және жоғары дәлдіктегі эпитаксидің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін ерекше коррозияға төзімділік.

Бұл өнім өз атауын өз атауын өз атын өзінің жеке жартылай ай геометриясынан алады, бұл бір вафли немесе көп вафли эпирлі реакторларындағы нақты вахталық платформалар үшін жасалған. Оның ерекше пішіні газдың бірыңғай ағынын және жылу таратуды жеңілдетіп қана қоймайды, сонымен қатар қолданыстағы жылыту және айналу жинақтарына оңай интеграциялануға мүмкіндік береді. Жартылай дөңгелек дизайн вафлидің оңтайлы орналасуын қамтамасыз етеді, жылу кернеуін азайтады және бүкіл вафли бетіне бірыңғай эпитаксиалды қабықтың қалыңдығына қол жеткізуде маңызды рөл атқарады.

Жоғарғы айдың жоғарғы өніміне ультра ұсақ графиттің субстраты кіреді, бұл өте жоғары температураның жиынтық артықшылықтарына байланысты, олар өте жоғары температураның жиынтық артықшылықтарына байланысты, қайталанған жүгірістерде кедергі келтіреді. Қолданылуы үшін, химиялық бумен тұндыру технологиясы, HCL, CL₂, SHINEN және басқа да коррозиялық технологиялық газдардан жасалған химиялық бумен тұндыру технологиясы қолданылды. Қанша, SIC жабыны жоғарғы жарты айдың да ұзақ және кеңейетін өмірді және олардың жиынтығы, сонымен қатар, вафли ортасының ластануын азайтады, сайып келгенде, технологиялық өнім мен кино сапасы.

SIC қабатының беттік қабаты көрсетілген және тегіс немесе тегіс немесе тегіс немесе тегіс немесе тегіс немесе тегіс, ал тегіс, ал тегіс, тұрақты пленкаға айналады. Сонымен қатар, SIC жабыны ақаулы сезімтал жартылай өткізгіш қосымшалардың негізгі факторы болып табылатын бөлшектердің пайда болуына төзімділігін жақсартады. Өткізу параметрлері, соның ішінде өте төмен және өте төмен деформацияны қоса алғанда, 1200 ° C-тан асады, өте ұзақ жұмыс істейтін циклдар үшін тиімді компоненттер, жүйенің тоқтап қалуы және техникалық қызмет көрсету шығындары.

Үстіңгі жарты айдың жартылай жартысы толеранстық, біркелкілікке және материалдық іріктеуге қатысты екінші орынға ие емес. Біз әр қадамда, графит өңдеуден, графитті өңдеуден және қорытынды инспекциядан қатаң бақылауды және қорытынды тексеруден өткіземіз, әрбір құрылғы жартылай өткізгіштік жабдықтардан талап етілетін қатаң стандарттарға сәйкес келеді. Сонымен қатар, геометрияларды, қалыңдығынан және беткі қабаттарды теңшеу тәжірибеміз эпитакси платформаларының барлық түрлеріне қолданылуы керек.

Жоғарғы жарты ай вафлидің тұрақтылығы, жылу біркелкілігі және кремний немесе құрама жартылай өткізгіш эпитакси үшін ластануды бақылау үшін өте маңызды. Тиісінше, Subicorex теңдесі жоқ сараптама, материалдық технологиялар және өндірістік технологиялар және сенімді, жоғары сапалы сезімталды компоненттер үшін клиенттердің күтуіне қол жеткізу үшін.