SIC Epitaxial модулі

SIMICOREX SIC эпитаксилі модулі, SIC қаптамасынан жасалған, SIC қапталған графиті, силикон карбидінің (SIC) эпитакси процестерінің ең қиын элементтеріне төтеп беру үшін жасалған эпитаксиалды жабдықтың бөлігі. Химиялық бумен тұндыру (CVD) қосымшаларындағы жоғары температураға арналған, жоғары сапалы ӘЖК-нің эпитаксиальды өсуі кезінде вафлиді қолдаудың маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. SEMCOREX SIC модулі - сапалы SIC техникалық сипаттамаларына сәйкес келетін эпитаксиалды материалдың сенімді және қайталанатын материалдары үшін тиімді негізгі материал.

SIMICOREX SIC модулі - бұл кремний карбидінің тығыз және біркелкі қабаты бар графит субстраты, ол кремний карбидінің тығыз және біркелкі қабаты және сонымен қатар, сонымен қатар, бөлшектердің ластануымен және коррозияға төзімді, тіпті ең ауыр технологиялық химияларда да төзімді. SIC жабыны негізгі графиттің ластануы мен эрозиясына тыйым салады және 1600 ° C-қа дейін механикалық қолдау мен қорғауды қамтамасыз етеді. SIC модулі графиттің беріктігі мен өңделуін силикон карбидінің жалпы тозуымен, коррозияға және химиялық төзімді қасиеттерімен үйлестіреді, бұл оны қатты эпитаксиалды атмосферадағы модульдің беріктігі жағынан жақсы үйлеседі.

Модуль жылу велосипедіндегі өлшемді өзгерісті азайту кезінде бірыңғай термиялық профильді ұсынуға арналған. Бұл жылудың біркелкілігі мен тұрақтылығы вафли мен эпитаксидің біркелкілігін сақтау үшін қажет. Егер вафли жоғары термиялық өткізгіштікпен тұрақты күйде болса, онда өңдеу кезінде ватфердегі жылу жағдайлары біркелкі болады, бұл кірістілік, кристалл сапасы және ластанумен байланысты уақыттың әсерін тигізеді.

SIC Epitaxial модулі бірнеше эпитаксиальды реакторларға, соның ішінде ыстық қабырғаға және суық қабырғаларға сәйкес келеді және арнайы реакторлардың орналасуы мен тұтынушыларының қажеттіліктерін орналастыру үшін кескін мен өлшемдерге теңшеледі. SIC Epitaxial модулі 4 дюймдік, 6 дюйм, 6 дюймдік эпитакси қосымшаларымен жақсы үйлеседі, бірақ олармен шектелмейді. Жоғары тазалық пен оңтайландырылған сик эпитаксилі модулінің геометриясына байланысты физикалық кедергілер оның эпитаксиальды қабатының өсуіне қолдау көрсететін газ шығын динамикасына және жылу градиенттеріне әсер етеді.

Subicorex-тің эпитаксиалды модульдері эксцентрлік ассамблеядағы жоғары сапалы бақыланатын шығарманы білдіреді. Жоғары сапаны бақылау хаттамаларынан басқа, Subicorex біркелкі, тығыз және төмен қарқынды SIC фильмдерін қолдану үшін ең жаңа әдістерді қолданады. Subicorex-те жоғары өнімді керамикалық жабындар мен графитті өңдеудің ұзақ тарихы бар, бұл өнімнің ең жақсы мүмкіндігі, дәйектілігі және партиядан партиядан партияға дейінгі процедуралық тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Материалдық сапа құрылғылардың жұмысына тікелей әсер ететін SIC қуат көздерінің жылдам даму аймағында, бұл құрылғының жұмысына тікелей әсер етеді, эпитаксиалды модуль тек қана тұтынылатын болып қана қоймайды - бұл өте маңызды. SIC қапталған графиттік графиттік графиттік модуль SewicoreX-тен SICEXITES-тің тиімділігі, кірістілігі және экономикалық тиімділігі шектеулерін итермелейтін сенімді шешім ұсынады.