8 дюймдік вафли сақиналары

Subicorex 8 дюймдік вафли сақиналары - бұл кремний Вафкаларды маңызды жылу, игеру және тұндыру процестері арқылы қауіпсіз қамтамасыз етуге және қолдауға арналған жартылай өткізгішті өңдеуге арналған жабдық. Жоғары сапалы графиттен тығыздалғанКремний карбидінің қаптауы (SIC)Қосылған күш үшін вафлидің сақинасы жоғары температуралы және механикалық беріктік береді, химиялық және коррозиялық ортада, мысалы, CVD (химиялық бумен тұндыру), PECVD және эпитакси жүйелерінде қолдануға өте ыңғайлы.

Негізгі ерекшеліктері:

Материалдық құрамы:

Субстрат материалыЖоғары тазалық графиті, ол жоғары жылу өткізгіштік пен құрылымдық біртектілік үшін таңдалады. Жоғары тығыздық және формаКремний карбид (SIC) Фильм жабыны1000 ° C-тан асатын температурада тотығу және химиялық шабуылға жоғары қарсылық көрсетілетін бетке қолданылады. Қоспа ұзындықтың жарамдылық мерзімі және вафлидің ластану қаупі аз.

Қауіпсіз вафли позициясы

Әсіресе 8 дюймдік (200 мм) вафлиді жүргізу үшін, вафли вафлиді мықтап ұстап, дәл төзімділікті және оңтайлы жасалған ішкі геометрияны сақтайды. Сақина термиялық велосипедпен және газ ағыны кезінде тұрақты болып қалады, бұл бөлшектерді жасауға немесе вафлидің бұзылуына әкелуі мүмкін микро қозғалысты азайтады.

Жылу біркелкілігі:

Графит субстратының тән термиялық өткізгіштігі және SIC жабынының тұрақтылығы вафли бетіне дәйекті жылу беруді қамтамасыз етеді. Бұл нәтижелер дәйекті процестер, жылу кернеуін азайтады және құрылғының өнімділігі жақсы.

Химиялық және плазмалық тұрақтылық:

SIC беті бірнеше рет өңделген процестер циклдеріне қарсы тұруға мүмкіндік беретін қатаң процестер мен газдардан қорғайды. Химиялық инерстер, әсіресе құрамында галогендік этчерс немесе реактивті газ ортасында пайдалы.

Теңшеу Қол жетімді:

8-дюймдік вақтау сақиналары нақты жабдықтармен немесе технологиялық талаптарға, яғни нақты жабдықтарға немесе процестерге қойылатын талаптарға сәйкес жасалған болуы мүмкін, яғни, EDGE қолдау дизайнындағы өзгерістер, слоттардың орналасуы және монтаж конфигурациясы. Біздің дизайнерлеріміз OEMS және FABS-пен жұмыс істейді, әр қолдануға ең жоғары өнімділікті қамтамасыз етеді.

Өтініштер:

• Lpcvd / pecvd / apcvd
• Эпитаксиалды өсу процестері
• Диффузиялық пештер
• Жоғары температуралы тазарту
• Басқа жартылай өткізгішті термиялық өңдеу жүйелері

Әр 8 дюймдік вафли сақиналары өлшемдерді дәлдету, жабынды жабыстыру сынағы және жылу велосипедтерінің біліктілігі сияқты қатаң тексеруден өтеді. Біздің алдыңғы қатарлы өндірістік технологиямыз жартылай өткізгіш өнеркәсіптің жоғары сұраныстарын орындау үшін бірыңғай сиктік жабыны мен ең жақсы қабаттарын қамтамасыз етеді.

Subicorex 8 дюймдік уақтағы сақиналар (SIC жабылған графит) - механикалық дәлдік, материалдық тұрақтылық және химиялық тұрақтылықты қамтамасыз ететін, келесі буынды жартылай өткізгішті өндіруге арналған маңызды жабдық. Процесс жабдықтары келесі буын вафли платформаларының құрылысына дейін жаңартылады, бұл өнім қазіргі талап етілетін өндірістік ортаға мүмкіндік беретін сенімділік пен өнімділік ұсынады.