SiC жабыны бар планеталық сенсорлар

Semicorex SiC қапталған планеталық сенсорлар Aixtron G2 жабдығында жартылай өткізгіш эпитаксиалды өсу үшін әзірленген таптырмас тірек құрамдас болып табылады, оларда пластиналарды қауіпсіз ұстап тұруға және планеталық қозғалыста айналуға қабілетті. Осылайша, вафли бетінде дәл жылу біркелкілігі мен газдың біркелкі таралуына сәтті қол жеткізуге болады, бұл пластиналардағы жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттың тұндырылуына әкеледі.

Semicorex SiC қапталған планеталық сенсорлардың артықшылықтары

1. Көп қабатты қалта дизайны

Semicorex SiC қапталғанпланеталық сезгіштердәл басқарылатын өлшемдері бар бірнеше вафельді қалталарды біркелкі бөлу мүмкіндігі. Бұл пластинаның қалталары эпитаксиалды өсу процесі кезінде пластинка субстраттарын мықтап ұстай алады, бұл пластинка субстраттарының қажетсіз қозғалысынан туындаған эпитаксиалды процестің вариацияларын тиімді түрде азайта алады. Бұған қоса, бұл көп вафельді қалта дизайны бірнеше пластинка субстраттарына бір процесте бір уақытта эпитаксиалды тұндырудан өтуге мүмкіндік береді, бұл эпитаксиалды өсу процесінің жалпы тиімділігін айтарлықтай арттырады.

2. Оңтайландырылған газ ағынының тесіктерінің орналасуы

Semicorex оның құрамына мұқият жобаланған газ ағыны арналарының жиынтығын қосадыSiC қосылғанэпитаксиалды процесс барысында газ ағынының динамикасын және пластинаның бетіндегі жылу біркелкілігін оңтайландыруды нақтылайтын планеталық сенсорлар. Бұл ойластырылған дизайн жоғары сапалы жұқа қабықшаларға, біркелкі қабат қалыңдығына және құрылғының сенімді жалпы өнімділігіне қол жеткізу үшін маңызды болып табылатын реакция камерасының ішіндегі газ ағынының жылдамдығын және таралуын дәл бақылауға мүмкіндік береді.

3. Өте жоғары тазалық

Semicorex SiC жабыны бар планеталық сенсорлар жартылай өткізгіш өндірісінің қатаң тазалық талаптарына толық жауап беретін өте жоғары таза материалдармен және өте төмен қоспа деңгейлерімен жасалған. Олар тіпті эпитаксиалды процестерге тән жоғары температура мен коррозиялық жағдайларда да металдың шығуынан туындаған пластинаның ластануын тиімді түрде азайтады.

4. Ұзақ қызмет ету мерзімі

Semicorex сапаны бақылау біздің шикізатты мұқият таңдаудан басталады. SiC қапталған планеталық қабылдағыштар жартылай өткізгіштегі графит пен кремний карбидінен дәлдікпен жасалған, жоғары температураға тамаша төзімділік пен коррозияға төзімділікті ұсынады, бұл оларды күрделі жоғары температура, жоғары коррозиялық эпитаксиалды жұмыс жағдайларына тамаша төтеп береді. Осы тамаша материал қасиеттерімен Semicorex SiC қапталған планеталық сенсорлар өздерінің тұрақты өнімділігі мен құрылымдық тұтастығын сақтай алады және олардың бетінің зақымдануын және жоғары температура мен жоғары коррозия реакциясы камераларында өнімділіктің төмендеуін болдырмайды, осылайша SiC жабыны бар планеталық сезгіштердің қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады.