Semicorex 1x2 дюймдік графит пластинкалы қабылдағыштары жартылай өткізгіш пластинкалардың эпитаксиалды процесіне жақсы сәйкес келетін 2 дюймдік пластиналар үшін арнайы әзірленген өнімділігі жоғары тасымалдау компоненттері болып табылады. Материалдың тазалығы, инженерия дәлдігі және талап етілетін ортаның қайталанбайтын сенімділігі үшін Semicorex таңдаңыз.
Жартылай өткізгішті пластина өндірісінде жартылай өткізгіш құрылғыларды кейіннен дайындау үшін пластинаның астарында эпитаксиалды қабатты өсіру қажет. Эпитаксиалды өсу процесі температура ауытқуларына және ластануға өте сезімтал болғандықтан, сенімдівафельді сезгіштерсыни маңызды болып табылады. Вафли эпитаксиалды процесінде таптырмас тірек бөлшектері ретінде өңдеу дәлдігі, жылуды басқару мүмкіндігі және ластануға төзімділік өнімділігі пластинаның эпитаксиалды жоғары сапалы өсуіне қол жеткізудің шешуші факторлары болып табылады.
Арнайы процестер арқылы тығыз кремний карбиді жабыны бар матрицасы ретінде ультра майда дәннен, жоғары таза графиттен жасалған, Semicorex 1x2 дюймдік графит пластинкасының қабылдағыштары келесі функцияларды орындайды:
Semicorex 1x2"графитвафельді қабылдағыштар бетінің ерекше тегістігі мен өлшемдік дәлдігін қамтамасыз ететін дәл өңдеу мен өңдеуге мүмкіндік береді. Бұл олардың қолайлы орынға мықтап бекітілгенін қамтамасыз етеді және пластинаның эпитаксиалды өсуі үшін тұрақты, тегіс тірек платформасын қамтамасыз етеді.
Графит пен SiC материалдарының тамаша жылу өткізгіштігімен Semicorex 1x2" графит пластинкалы қабылдағыштары жартылай өткізгіш зат бойынша жылдам және біркелкі жылудың таралуын қамтамасыз етеді. Температура градиенттерін азайту арқылы Semicorex 1x2" графит пластинкалы қабылдағыштары біркелкі емес эпитаксистік сапа және кернеу концентрациясы сияқты мәселелерді тиімді болдырмайды.
Тығыз кремний карбиді жабынымен жабылған, Semicorex 1x2 дюймдік графит пластинкалы қабылдағыштары көптеген химиялық заттарға тиімді төзімді, сондықтан оларды материал коррозиялық газдар мен химиялық буларға жиі ұшырайтын жоғары коррозиялық жұмыс жағдайында қолдануға жарамды етеді.
Semicorexкремний карбиді жабыныграфит матрицасымен жоғары байланысу беріктігіне ие, ол коррозияға және жоғары коррозияға ұшыраған ортадан туындаған бөлшектердің түсуіне байланысты жабынның ажырауы салдарынан субстраттың ластану қаупін айтарлықтай болдырмайды.
Графит матрицалары тамаша термиялық тұрақтылық пен механикалық беріктікке ие болғанымен, ол эпитаксиалды процестің жұмыс жағдайында коррозияға және ұнтақтауға бейім, қапталмаған графит матрицаларының қызмет ету мерзімін айтарлықтай қысқартады. Графит матрицаларын тығыз SiC жабындарымен толығымен инкапсуляциялау арқылы біздің 1 × 2 дюймдік графит пластинкалы қабылдағыштары жоғары және сенімді беріктікке қол жеткізеді.
Semicorex SiC Coating материалының деректері
|
Типтік қасиеттер |
Бірліктер |
Мәндер |
| Құрылымы |
/ |
FCC β фазасы |
| Бағдарлау | Бөлшек (%) |
111 артықшылықты |
| Көлемдік тығыздық |
г/см³ |
3.21 |
| Қаттылық | Викерс қаттылығы |
2500 |
| Жылу сыйымдылығы | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| Термиялық кеңею 100–600 °C (212–1112 °F) |
10⁻⁶К⁻¹ |
4.5 |
| Янг модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300°C) |
430 |
| Астық мөлшері |
мкм |
2 – 10 |
| Сублимация температурасы |
°C |
2700 |
| Иілу күші |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
| Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |