Өнімдер

ICP плазмалық сызу жүйесі

ICP плазмалық сызу жүйесі

ICP Plasma Etching жүйесіне арналған Semicorex компаниясының SiC қапталған тасығышы эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін сенімді және үнемді шешім болып табылады. Біздің тасымалдаушыларда жоғары ыстыққа төзімділікті, тіпті термиялық біркелкілікті және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз ететін жұқа SiC кристалды жабыны бар.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

ICP Plasma Etching жүйесіне арналған Semicorex компаниясының SiC қапталған тасымалдаушысы арқылы жоғары сапалы эпитаксия және MOCVD процестеріне қол жеткізіңіз. Біздің өнім жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті ұсына отырып, осы процестер үшін арнайы жасалған. Біздің тамаша SiC кристалды жабынымыз вафлиді оңтайлы өңдеуге мүмкіндік беретін таза және тегіс бетті қамтамасыз етеді.
ICP Plasma Etching жүйесіне арналған SiC қапталған тасымалдауышымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.


ICP Plasma Eching жүйесіне арналған SiC қапталған тасымалдаушының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD қасиеттері

Кристалл құрылымы

FCC β фазасы

Тығыздығы

г/см³

3.21

Қаттылық

Викерс қаттылығы

2500

Астық мөлшері

μм

2~10

Химиялық тазалық

%

99.99995

Жылу сыйымдылығы

Дж·кг-1 ·К-1

640

Сублимация температурасы

2700

Жіңішке күш

МПа (RT 4-нүкте)

415

Young's модулі

Gpa (4pt иілісі, 1300â)

430

Термиялық кеңею (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Жылу өткізгіштік

(Вт/мК)

300


ICP Plasma Eching жүйесіне арналған SiC қапталған тасымалдаушының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз

Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты

Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.

Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.

Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз

- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік

- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз





Hot Tags: ICP плазмалық ою жүйесі, Қытай, өндірушілер, жеткізушілер, зауыт, теңшелген, жаппай, кеңейтілген, берік

Қатысты санат

Сұрау жіберу

Сұрауыңызды төмендегі формада қалдырыңыз. Біз сізге 24 сағат ішінде жауап береміз.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept