Semicorex компаниясының ICP плазмалық өңдеу науасы эпитакси және MOCVD сияқты жоғары температурада пластинаны өңдеу процестері үшін арнайы әзірленген. 1600°C-қа дейінгі тұрақты, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігімен біздің тасымалдаушылар біркелкі термиялық профильдерді, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз етеді және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.
Біздің ICP плазмалық өңдеу науасы CVD әдісімен қапталған кремний карбиді болып табылады, ол жоғары температура мен қатал химиялық тазалауды қажет ететін вафельді өңдеу процестері үшін тамаша шешім болып табылады. Semicorex тасымалдаушылары біркелкі жылу профильдерін, ламинарлы газ ағынының үлгілерін қамтамасыз ететін және ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайтын жұқа SiC кристалды жабынымен ерекшеленеді.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы, үнемді өнімдерді ұсынуға назар аударамыз. Біздің ICP плазмалық өңдеу науасы бағалық артықшылыққа ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарға экспортталады. Біз тұрақты сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды мақсат етеміз.
Біздің ICP плазмалық өңдеу науасы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
ICP плазмалық өңдеу науасының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
ICP плазмалық өңдеу науасының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз