Sic жарты нүктелік бөліктер

Премиум кремний карбидімен қапталған жарты нүктелік бөліктер (SIC), вафлиді тасымалдаушылар да, жылу өткізгіштер де эпитакси процестерінің маңызды ерекшелігі болып табылады. Олардың мамандандырылған жартылай ай пішіні эпитаксиальды реакторлардағы арматура ретінде қызмет ететін цилиндрлік формаға құрастыру әдісін ұсынады. Палата немесе Реактор ортасында вафли оларды қорғау керек, бірақ сыни жұқа пленкамен тұндыру кезінде біркелкі жылытылуы керек. SIC жабылған жарты нүкте бөлшектері осы міндеттерді орындау үшін механикалық тіреуіш, жылу тұрақтылығы және химиялық беріктіктің дұрыс мөлшерін ұсынады.

ГрафигіЖарты, жартылай кесекке арналған субстрат материалы және оның жылу өткізгіштігі мен салыстырмалы түрде төмен және күші төмен. Графиттің беті тығыз жоғары сапалы химиялық бумен қапталған, ептіліктің өсуімен байланысты агрессивті орталарға қарсы салынған кремнийді карбид (CVD SIC) бетіне жабыстырылған. SIC жабыны бөлшектердің бетінің керігін жақсартады және сутегі мен хлор сияқты реактивті газдарға төзімділікті қамтамасыз етеді, мысалы, сутегі мен хлор сияқты, ұзақ мерзімді тұрақтылық пен өңдеу кезінде өте шектеулі ластануды қамтамасыз етеді. Графит пен SIC химиялық және жылу қасиеттерімен механикалық беріктің дұрыс балансын қамтамасыз ету үшін жарты кесек бөліктерінде бірге жұмыс істейді.

Ең маңызды рөлдердің біріSic жабылдыЖарты сән бөлшектері - вафлидің қолдауы. Вафтерлер кристалды қабаттардағы тордың құрылымының өсуіне ықпал ету үшін бүкіл эпитаксиді бүкіл эпитаксисі бар болады деп күтілуде. Қолдаушы бөліктердегі икемділіктің немесе тұрақсыздық дәрежесі, ақаулық қабаттарды эпитаксиге енгізіп, құрылғының әсер етуі мүмкін. Жарқыраған бөліктер жоғары температурада түпкілікті өлшемді тұрақтылық үшін мұқият дайындалған және барлық ескерткішке қатысты вафли орналастыру үшін мұқият жасалған. Бұл құрылымдық тұтастық эпитаксиальды сапаға және одан да жоғары өнімділікке ауысады.

Жарты жастанған бөліктердің бірдей маңызды функциясы жылу өткізілуде. Эпитаксиальды камерада, біркелкі, тұрақты, тұрақты жылу өткізгіштік жоғары сапалы жұқа қабықшаларды алудың кілті болып табылады. Графит өзегі жылу процесіне көмектесу және температураның таралуын жеңілдету үшін жылу өткізгіштікке өте ыңғайлы. SIC жабыны өзегін жылу шаршауы, деградациялау және процесстегі ластанудан қорғайды. Сондықтан, вафлиді біркелкі температураны беру және ақаусыз эпитаксальды қабаттардың дамуын қолдау үшін біркелкі жылытуға болады. Басқаша айтқанда, нақты жылу жағдайларын қажет ететін жұқа қабық өсіру процестері үшін, SIC жабылған жарты нүкте бөлшектері тиімділік пен сенімділікті ұсынады. Ұзақ өмір сүру - компоненттердің басты аспектісі. Epitaxy көбінесе ортақ құрылыс материалдарының тозғаннан асатын жылу велосипедінен тұрады, бұл қандай ортақ құрылыс материалдарының тозусыз шыдау мүмкін емес.

Тазалық - бұл тағы бір маңызды пайда. Эпитакси ластануға өте сезімтал болғандықтан, егер реакция камерасынан ластануды жояды. Бұл бөлшектерді өндіруді азайтады және вафлиді ақаулардан қорғайды. Құрылғының геометрияларын азайту және эпитаксиальды процестің үздіксіз тарылуын үздіксіз тарылтып, тұрақты өнімнің дәйекті сапасын қамтамасыз ету үшін ластануды бақылауға мүмкіндік береді.

Semicorex Sice жарты нүктелік бөліктер тек тазалыққа қатысты мәселелерге ғана емес, олар да икемді және әр түрлі эпитаксиалдық жүйелер конфигурациясына сәйкес келмейді. Олар сонымен қатар белгілі бір өлшемдерде, жабынның қалыңдығымен, дизайнға / дизайнға / дизайнға, дизайнға / төзімділікке ие, бұл дизайнға төзімді жабдықты, нақты жабдықтарға сәйкес келеді. Бұл икемділік қолданыстағы жабдықты үздіксіз біріктіруге және технологиялық үйлесімділікті сақтауға кепілдік бере алады.