Кремний инжекторы

Subicorex дескофт кремкон инжекторлары, деско ұзындығы, диаметрлі және саптама конфигурацияларында қол жетімді. Тегістелген шешімдерді бір реттік реактор геометриялары немесе тұндыру рецептері үшін газ тарату үлгілерін жақсарту үшін жасауға болады. Әр инжекторға тексеріліп, тазалық үшін, жартылай өткізгіштік деңгейдің жоғары деңгейін қамтамасыз етедіЖоғары тазалық кремний, Бұл тамаша құбырлы инжектор, таза тазалыққа, химиялық заттармен үйлесімділікті және төтенше процесс жағдайындағы жылу тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш өндірісі интеграцияның жоғарылауы және ластанудың қатаң бақылауына дейін дамып келе жатқандықтан, Депозиция камерасындағы газды жеткізудің әр компонентіне бұрынғыдан да жоғары стандарттарға сәйкес келуі қажет. Semicorex кремний инжекторы газ тәрізді материалдарды арнайы және газ тәрізді материалдарды реакция камерасында тұрақты және біркелкі тәсілмен, ластануды енгізбестен немесе вафли кірістілігімен қамтамасыз етпей, тұрақты және біркелкі жолмен жасалды.

Инжектор технологиялық талаптарға байланысты монокристалды немесе поликристалды кремнийден шығарылады, ал материал аз металл, бөлшектер және иондық қоспалар болуы керек. Бұл ультра тазалағыш LPCVD жағдайымен үйлесімділік береді, мұнда тіпті биялық ластануы пленкадағы ақауды немесе құрылғының істен шығуы мүмкін. Кремнийді негізгі материал ретінде пайдалану сонымен қатар палатаның инжекторы мен кремний компоненттері арасындағы материалды сәйкессіздікті азайтады, бұл бөлшектердің пайда болу қаупін немесе химиялық реакцияларды едәуір төмендетеді.

Кремний инжекторының арнайы түтікшелі құрылымы газдың біркелкі және тең таралуына мүмкіндік береді. Микрожым-шикізат және тегіс ішкі беті, ламинар газ динамикасымен бірге репродукциялануға мүмкіндік береді, бұл кинофильмнің қалыңдығы мен пештегі тұрақты тұндыру жылдамдығы үшін өте маңызды. Ол SILENE (SIH₄), дихлоросилан (сихлор) немесе басқа реактивті газдар, инжектор сапалы полисиликонның жақсы өнімділігі мен дәлдігін ұсынады.

Тамаша жылу тұрақтылығының арқасында Semicorex кремний инжекторы температураны 1250 ° C-қа дейін төтеп бере алады және жоғары температуралы LPCVD бірнеше цикл кезінде деформациядан, крекингке немесе бұрылусыз бақылауға болады. Сонымен қатар, оның тотығу және химиялық инерттілікке деген жоғары төзімділігі техникалық қызмет көрсетуді азайту және технологиялық тұрақтылықты азайту кезінде тотығуға, азайтуға немесе коррозиялық атмосферада ұзақ уақыт жұмыс істейді.

Әр инжектор заманауи CNC өңдеу және жылтырату, субм-өлшемді лшемге төзімділікке қол жеткізу, бетіне дейін, ультра тегіс әрлеу көмегімен өндіріледі. Жоғары сапалы беттік қабат газдың турбуленттілігін азайтады, ешқандай бөлшектердің жоқтығын азайтады, егер термиялық және қысымның тұрақты өзгерістері бойынша дәйекті ағынның сипаттамаларын қамтамасыз ете отырып, бөлшектердің аз мөлшерін құрайды. Нақты өндіріс, сенімді түрде шығарылатын, сенімді нәтижелер, сондықтан жабдықтың дәйекті өнімділігі қамтамасыз етеді.

Subicorex дескофт кремкон инжекторлары, деско ұзындығы, диаметрлі және саптама конфигурацияларында қол жетімді. Тегістелген шешімдерді бір реттік реактор геометриялары немесе тұндыру рецептері үшін газ тарату үлгілерін жақсарту үшін жасауға болады. Әр инжекторға тексеріліп, тазалық үшін, жартылай өткізгіштік деңгейдің жоғары деңгейін қамтамасыз етедікремний компоненттері.

Subicorex кремний инжекторы бүгінгі жартылай өткізгіштер өндірісінде қажетті дәлдік пен тазалықты қамтамасыз етеді. 9N ультрафиолетикалық кремний, мкрондық деңгейдегі технологиялық дәлдік, және жоғары жылу және химиялық тұрақтылық лпаквд полисиликонын салу кезінде біркелкі газ таратуды, бөлшектердің төмендеуін және ерекше сенімділікті қамтамасыз етеді.