Кремний қалқаны сақинасы

Subicorex кремнийі қалқан сақинасы - бұл критикалық жартылай өткізгіштің құрамдас бөлігі. Оның негізгі функциясы - электродты қоршап, плазманың шамадан тыс ағып кетуіне жол бермеу. 9N (99.99999%) асатын материалдың тазалығы бар, қалқан сақинасын бір кристалды және көп кристалл арқылы жасауға боладыкремний, ультра таза жұмысты қамтамасыз ету және жартылай өткізгіш өндіріс процестерімен сенімді үйлесімділікті қамтамасыз ету.

CCP / ICP-де плазмалық бақылау процесі тиімді, біркелкі этчингтің және вафлидің сапасы үшін қажет. Қажетті мөлшерден тыс жерлерде бақылаусыз плазманың ағуы беттік эрозия мен ластануды немесе камераның ішіндегі компоненттерді зақымдауы мүмкін. Кремний қалқаны сақинасы - электродтың сыртқы периметрі бойынша қорғаныс барьерін қалыптастыру үшін жасалған, бұл мәселені шешудің тиімді, қарапайым шешімі, плазманы мақсатты аймақтан тыс жерде тарату және тек қажетті аймаққа шектеуден тұрады. Кремний қалқан сақинасы плазмалық үлестірімді тұрақтандыру үшін сыртқы электрод ретінде әрекет етеді және вафли бетіне көбірек біркелкі қуат береді.

Кремнийдің жылу және электрлік қасиеттері басқа қалқан сақинасының жұмысын қолдайды. Оның жоғары температураға төзімділігі ұзақ плазмалық әсер ету кезінде құрылымдық тұтастықпен қамтамасыз етеді және оның электр өткізгіштігі компонентті электрод жүйесіндегі элемент ретінде дұрыс жұмыс істеуге мүмкіндік береді. Бұл қосымшалар плазмалық қамауды жақсартады және энергияның біркелкілігін жақсартады, бұл вафли арқылы қайталанатын эфирге мүмкіндік береді.

Механикалық толеранттылық - бұл кремнийдің тағы бір маңызды сипаттамасы, қалқан сақинасы. Қатаң төзімділікке ұшыраған кезде, ол электродтың айналасында дәл ұстанады және камераның аралық және геометриясын жүргізеді. Бұл механикалық дәлдік жеке жүгіру арасындағы аз өзгергіштік үшін қайталанатын процестерді тудырады және жоғары көлемді жартылай өткізгіш өндіріске мүмкіндік береді. Материалдың өзі плазмалық ортамен керемет үйлесімділікке ие; Сондықтан оның құрылымын жою оған әдетте ұзақ қызмет көрсету және процестердің жұмысын қамтамасыз етуге мүмкіндік береді.

Тұрақтылық пен шығындардың тиімділігі - бұл тағы екі құнды артықшылық. Плазмадан камераның қажетсіз бөлімдерін қорғау арқылы қалқан сақинасы басқа да сыни компоненттерге тозуды азайтады, бұл техникалық қызмет көрсету жұмыстарын азайтады және жалпы жұмыс уақытын арттырады. Ұзақ уақытқа қызмет ету мерзімі және азырақ ауыстыру Жартылай өткізгіш фламдарды өнімділікті арттыру үшін және пайдалану шығындарын азайту үшін жартылай өткізгіш фламдар үшін тиімді шешім қабылдауға мүмкіндік береді.

ТаКремнийҚалқан сақинасын әр түрлі конфигурациялау үшін және технологиялық сипаттамалар үшін де, технологиялық сипаттамалар үшін, олар бірнеше өлшемдерде және геометрияларда қол жетімді болғандықтан, олар бірнеше түрлі плазмалық камераларда, сонымен қатар оңтайлы сәйкес келуі мүмкін. Сонымен қатар, ультра таза өндіріс стандарттары үшін бөлшектердің ұрпақтарын одан әрі азайту үшін, бетті емдеу мен жылтыратуға болады.