Poly-Si саңылаулы сақиналар

Поли-Si саңылаулары бар сақиналар, әдетте, жетілдірілген жартылай өткізгішті өңдеу жабдығының реакциялық камерасында орнатылады. Олар кремний бөліктерімен, соның ішінде кремниймен синергетикалық жұмыс істейдіфокус сақиналары, кремний сыртқы сақиналары және кремнийдуш кабиналары. Бұл бөліктер ою процесі үшін тұрақты және оңтайлы реакция ортасын жасай алады, бұл тамаша жұмысты қамтамасыз етедіоюдәлдік пен процестің дәйектілігі.

Semicorex поли-Si саңылаулы сақиналарының функциялары

1. Semicorex poly-Si саңылаулы сақиналары реакциядан кейін технологиялық газдарды біркелкі шығаруға мүмкіндік беретін газ өткелдері ретінде қызмет ететін бірнеше біркелкі бөлінген ойықтармен жабдықталған.

2. Semicorex поли-Si саңылаулары бар сақиналары жартылай өткізгішті өңдеу жабдығының реакциялық камерасын сенімді қорғауды ұсына отырып, тамаша плазмалық бақылауға қол жеткізе алады.

3. Semicorex поли-Si саңылаулары бар сақиналар электр өрісі мен камера қысымын реттеуге көмектеседі, осылайша тұрақсыздықтың ою процесінің консистенциясына әсер етуіне жол бермейді.

Жоғары стандартты материалды таңдау

Semicorex поли-Si саңылаулары бар сақиналар тазалығы 99,9999% жоғары сапалы поликристалды кремнийден жасалған, бұл оларға төмендегідей жоғары қасиеттер береді.

1. Өте жоғары тазалық және өте төмен қоспа мөлшері.

2. Ерекше плазмалық коррозияға төзімділік.

3. Қолайлы электрлік қасиеттері, кедергінің біркелкілігі: RRG ≤ 5%, төмен рұқсат. (<0,02), ортаңғы рез. (1–4) және жоғары ажыратымдылық. (70–90).

Өндірістік мүмкіндіктер және сапаны бақылау

Жетілдірілген өңдеу жабдығымен және тәжірибелі техникалық топпен жабдықталған Semicorex әрбір өндіріс процесін қатаң бақылайды және біздің құнды тұтынушыларға жоғары сапалы және жақсы сәйкес келетін поли-Si саңылаулары бар сақиналарды ұсынады. Сонымен қатар, Semicorex дайын поли-Si саңылаулары бар сақиналарда фишкалар, сызаттар, жарықтар және дақтардың болмауын қамтамасыз ету үшін өлшемді өлшеуге, меншікті кедергі сынауға және визуалды тексеруге қатаң бақылау жүргізеді.