Монокристалды кремний электродтары

Монокристалды кремний электродтарыәдетте ою камерасының жоғарғы жағына орнатылып, жоғарғы электрод ретінде қызмет етеді. Бір кристалды кремний электродтарының бетінде біркелкі бөлінген микро саңылаулар бар, олар реакция камерасына тегістеу газын біркелкі жеткізе алады. Оңалту процесі кезінде олар біркелкі электр өрісін жасау үшін төменгі электродпен жұмыс істейді, бұл дәл ою үшін тамаша жұмыс жағдайын қамтамасыз етуге ықпал етеді.

Материалды мұқият таңдау

Semicorex бір кристалды кремний электродтарын өндіру үшін MCZ-де өсірілген монокристалды кремнийді таңдап, саладағы жетекші өнім өнімділігі мен сапасын ұсынады.

1. Өте жоғары тазалық

Semicorex монокристалды кремний электродтары 99,9999999% жоғары ультра жоғары тазалықпен ерекшеленеді, бұл ішкі металл қоспаларының мөлшері өте төмен екенін білдіреді.

2. Ерекше қарсылық біркелкілігі

Кәдімгі CZ монокристалды кремнийінен айырмашылығы, Semicorex пайдаланатын MCZ-де өсірілген монокристалды кремний 5%-дан төмен кедергінің біркелкілігіне қол жеткізеді. Оның төмен рұқсаты. 0,02 Ω·см төмен басқарылады, орташа рез. 0,2 және 25Ω·см аралығында және жоғары рез. 70-90 Ω·см аралығында (сұраныс бойынша теңшеу мүмкін).

3. Тамаша материал құрылымы

MCZ әдісі арқылы өсірілген монокристалды кремний неғұрлым тұрақты құрылымды және аз ақауларды ұсынады, бұл Semicorex бір кристалды кремний электродтарын тамаша плазмалық коррозияға төзімділікпен қамтамасыз етеді және қатал жұмыс жағдайларына төтеп береді.

---

Жоғары стандартты өңдеу дәлдігі

Semicorexбір кристалды кремнийэлектродтар кремний құймасынан дайын өнімге дейін, соның ішінде кесу, бетті тегістеу, саңылауларды бұрғылау, дымқыл ою және жылтырату сияқты толық өндіріс процесі арқылы жасалады. Semicorex электродтардың диаметрін, қалыңдығын, бетінің тегістігін, саңылаулар аралығын және саңылауларын мінсіз рұқсаттар шегінде сақтауды қамтамасыз ету үшін әрбір қадамда қатаң дәлдік бақылауын қолдайды.

1. Микротесіктерді өңдеу

Бір кристалды кремний электродтарындағы микро саңылаулардың біркелкі аралықтары және біркелкі диаметрлері (0,2-ден 0,8 мм-ге дейін), ішкі қабырғалары тегіс және бұлдырсыз. Бұл тегістеу газының біркелкі және тұрақты жеткізілуіне тиімді кепілдік береді, осылайша пластинаның біркелкілігі мен дәлдігін қамтамасыз етеді.

2. Өңдеу дәлдігі

Semicorex монокристалды кремний электродтарын өңдеу дәлдігі 0,3 мм шегінде бақыланады, ал олардың жылтырату дәлдігін 0,1 мкм-ден төмен қатаң бақылауға болады, ал ұсақ тегістеу 1,6 мкм-ден аз.