Силиконды өрнек сақиналары

Кремнийді өңдеу сақиналары CCP/ICP өңдеу жабдығының плазмалық өңдеу камерасының маңызды құрамдас бөліктері болып табылады және әдетте жартылай өткізгіш пластинаның айналасына орналастырылады. Олардың негізгі функциялары жартылай өткізгіш пластинаны қолдау, плазманың біркелкі таралуын қамтамасыз ету, пластинаның жиегін қорғау және осылайша плазманы өңдеу процесі үшін оңтайлы жұмыс жағдайларын жасауға көмектесу болып табылады.

Semicorex кремнийді өрнектеу сақиналарының артықшылықтары

1. Премиум материалды таңдау

Semicorex кремнийді сырлау сақиналары мұқият таңдалған жоғары таза MCZ-ден жасалғанмонокристалды кремний, бұл әдеттегі CZ монокристалды кремнийіне қарағанда келесі тамаша қасиеттерді ұсынады.

Жоғары тазалық: Тазалық 99,9999999%-дан асады, яғни Semicorex кремнийді өңдеу сақиналарында қоспалар дерлік жоқ. Бұл ультра жоғары тазалық ою процесі кезінде құрамдас қоспалардың кедергісін тиімді болдырмайды, осылайша жоғары сызу дәлдігіне кепілдік береді.

Тұрақты құрылым: MCZ монокристалды кремнийі әдеттегі CZ монокристалды кремнийіне қарағанда ақаулары азырақ жоғары кристалды құрылымға ие. Бұл тұрақты кристалды құрылым Semicorex кремнийді өңдеу сақиналарына плазмалық коррозияға тоттануға төзімділігін арттырады және оларды өңдеудің қатал жұмыс жағдайларына төтеп беруге мүмкіндік береді.

Кедергіліктің тамаша біркелкілігі:Semicorex кремнийді сырлау сақиналарыRRG < 5% ерекше қарсылық біркелкілігін қамтамасыз етеді. Төмен рұқсат. (<0,02 Ω·см), Орташа ажыратымдылық. (0,2–25 Ω·см), Жоғары ажыратымдылық. (>100 Ω·см). Бұл тамаша кедергі біркелкілігі шамадан тыс жоғары немесе төмен қарсылықтан туындаған плазманың біркелкі емес таралуын азайта алады, бұл жоғары дәлдіктегі плазманы ою үшін тамаша электр өрісіне ықпал етеді.

2. Дәл өңдеу және қатаң сапаны тексеру

Semicorex біздің қымбатты тұтынушыларымыз үшін жеке теңшеу мен техникалық бағалауды қамтамасыз ете алатын тәжірибелі техникалық топпен мақтана алады, сонымен қатар өнім сапасына кепілдік беру үшін жүйелі өңдеу және тексеру процедураларын белгіледі.

Икемді теңшеу қызметтері: Semicorex тұтынушы сызбаларына негізделген теңшеуді қолдайды, ал кремнийді өңдеу сақиналарының максималды теңшелетін диаметрі 470 мм дейін болуы мүмкін.

Жоғары стандартты бетті өңдеу: жылтырату дәлдігін Ra < 0,1 мкм шегінде қатаң бақылауға болады, ал ұсақ тегістеу Ra > 0,1 мкм беттік өңдеуге қол жеткізеді.

Қатаң сапаны тексеру: Өлшемді өлшеу, меншікті кедергі сынағы және визуалды тексеру кремний өңдеу сақиналарында чиптерден, сызаттардан, жарықтардан, дақтардан және басқа ақаулардан таза болуын қамтамасыз ету үшін қабылданады.