Тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналар

Бағыттаушы сақиналар әдетте жылу өрісі жүйесінде графит тигельдің үстіне орнатылады. Олар тигельмен, қыздырғышпен және жылу оқшаулағыш цилиндрмен және жылу және технологиялық газдардың таралуын бағыттау және бақылау үшін басқа жартылай өткізгіш компоненттермен бірге жұмыс істейді.

АартықшылықтарТантал карбиді жабыны

жоғары өнімділігімен танымалTaC жабыныҮшінші буындағы жартылай өткізгіш монокристалды өсу қолданбаларында тантал карбиді жабыны келесі артықшылықтарды ұсынады:

1. Ерекше термиялық тұрақтылық

Тантал карбиді 3880 ℃ балқу температурасы өте жоғары термиялық төзімділікке ие. Осы ерекше термиялық тұрақтылыққа ие, Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналарды 2500 ℃ төмен температуралық ортада тұрақты пайдалануға болады. Сонымен қатар, осы екі материалдың комбинациясы температураның өзгеруінен туындаған жабынның крекингінің және пиллингінің қаупін азайтады, бұл қайта қыздыру және салқындату процестері кезінде компоненттің құрылымдық тұтастығын айтарлықтай қамтамасыз етеді.

2. Керемет коррозияға төзімділік

Тантал карбиді тамаша коррозияға және тотығуға төзімділікке ие және аммиак, сутегі және кремний сияқты реактивті газдардың көпшілігіне химиялық инертті. Осы химиялық тұрақтылықтың арқасында Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналар реактивті газдардың матрицаны эрозиядан және олардың құрылымдық тұтастығын бұзудан тиімді түрде алдын алады, сонымен бірге кристалдық құрылымға түсетін реактивтер мен қоспалардан ластану қаупін болдырмайды.

Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналардың өнімділігі

Semicorexтантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналарматрица ретінде тазалығы жоғары графитті пайдаланыңыз және CVD технологиясы арқылы бетке TaC жабынын салыңыз. Осы екі материалдың үйлесімі Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналарға келесі артықшылықтарды береді:

1.Газ ағынын басқару және ағын өрісін оңтайландыру

Кристаллдың өсуі кезінде бағыттаушы сақиналарды пайдалану жылу өрісіндегі ағынның таралуын оңтайландыруға көмектеседі және реактивті газдарды басқарылатын ағын бағыты мен біркелкі бөлуге бағыттайды. Арнайы құрылымдық дизайнының арқасында Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналары газдың ағуына және біркелкі таралуына бағыттай алады, бұл тым жоғары немесе төмен жергілікті газ концентрациясын тиімді болдырмайды.

2.Температураны реттеу және жылу өрісін оңтайландыру

Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналар температураның таралуын реттеуге көмектесуде және кристалдардың өсуі үшін тұрақты температура өрісін қамтамасыз етуде шешуші рөл атқаратын жоғары жылу өткізгіштігін көрсетеді. Мысалы, Semicorex тантал карбидімен қапталған бағыттаушы сақиналар кремний карбиді кристалдарының PVT өсуіндегі температура градиентін сақтауға көмектесіп, материалдардың қолайлы жағдайларда ыдырауын, тасымалдануын және кристалдануын қамтамасыз етеді.