MOCVD реакторларына арналған қабылдағыштар

Semicorex компаниясының MOCVD реакторларына арналған қабылдағыштары кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты әртүрлі қолданбалар үшін жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылатын жоғары сапалы өнімдер болып табылады. Біздің өнім беріліс немесе сақина түрінде қол жетімді және жоғары температурада тотығуға төзімділікке қол жеткізуге арналған, бұл оны 1600 ° C дейінгі температурада тұрақты етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD реакторларына арналған қабылдағыштарымыз жоғары тазалықты қамтамасыз ете отырып, жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық буының тұндыруымен жасалады. Өнімнің беті тығыз, ұсақ бөлшектері және қаттылығы жоғары, бұл оны қышқылға, сілтіге, тұзға және органикалық реагенттерге коррозияға төзімді етеді.
MOCVD реакторларына арналған қабылдағыштарымыз барлық беттерді жабуды қамтамасыз етуге, қабыршақтануға жол бермеуге және ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Өнім жылу профилінің біркелкі болуына кепілдік береді және жоғары сапалы нәтижелерді қамтамасыз ете отырып, процесс барысында кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмайды.
Semicorex-те біз тұтынушылардың қанағаттануына басымдық береміз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

MOCVD реакторларына арналған қабылдағыштардың параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз