MOCVD үшін SiC қапталған графитті қабылдағыш

Semicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған графит сусцепторының ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. MOCVD-ге арналған SiC қапталған графит сусцепторы жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD-ге арналған Semicorex SiC қапталған графитті қабылдағыш - бұл вафли чипіндегі эпиксиалды қабатты өсіру процесінде қолданылатын жоғары таза кремний карбидімен қапталған графит тасымалдаушы. Бұл MOCVD-дегі орталық тақта, беріліс немесе сақина пішіні. MOCVD үшін SiC қапталған графитті қабылдағыш экстремалды ортада үлкен тұрақтылыққа ие жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы өнімдер мен қызметтерді ұсынуға міндеттенеміз. Біз тек ең жақсы материалдарды пайдаланамыз және біздің өнімдер сапа мен өнімділіктің ең жоғары стандарттарына сай жасалған. Біздің MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторымыз ерекшелік емес. Жартылай өткізгішті пластинаны өңдеу қажеттіліктеріңізге қалай көмектесетініміз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз