MOCVD үшін SiC қапталған графитті қабылдағыш

Semicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған графит сусцепторының ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. MOCVD-ге арналған SiC қапталған графит сусцепторы жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD-ге арналған Semicorex SiC қапталған графитті қабылдағыш - бұл вафли чипіндегі эпиксиалды қабатты өсіру процесінде қолданылатын, жоғары таза кремний карбидімен қапталған графит тасымалдаушы. Бұл MOCVD-дегі орталық тақта, беріліс немесе сақина пішіні. MOCVD үшін SiC қапталған графитті қабылдағыш экстремалды ортада үлкен тұрақтылыққа ие жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы өнімдер мен қызметтерді ұсынуға міндеттенеміз. Біз тек ең жақсы материалдарды пайдаланамыз және біздің өнімдер сапа мен өнімділіктің ең жоғары стандарттарына сай жасалған. MOCVD-ге арналған SiC қапталған графиттік сенсорымыз ерекшелік емес. Жартылай өткізгішті пластинаны өңдеу қажеттіліктеріңізге қалай көмектесетініміз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік беру
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз