Semicorex - бұл вафельді эпитаксияға арналған жоғары сапалы MOCVD қақпақшасының жұлдызды дискі тақтасының әйгілі өндірушісі және жеткізушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін, әсіресе пластинаның эпитаксиалды қабатын өсіру үшін арнайы әзірленген. Біздің қабылдағыш MOCVD-де тісті немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Өнім жоғары ыстыққа және коррозияға өте төзімді, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.
Біздің вафли эпитаксисіне арналған MOCVD қақпағы жұлдызды дискі тақтасы - бұл барлық бетті жабуды қамтамасыз ететін тамаша өнім, осылайша қабыршақтануды болдырмайды. Ол 1600°C-қа дейінгі жоғары температурада да тұрақтылықты қамтамасыз ететін жоғары температуралық тотығуға төзімділікке ие. Өнім жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық буларды тұндыру арқылы жоғары тазалықпен жасалған. Оның майда бөлшектері бар тығыз беті бар, бұл оны қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттерден коррозияға өте төзімді етеді.
Вафельді эпитаксияға арналған MOCVD қақпағы жұлдызды дискі тақтасы жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне кепілдік береді. Ол кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмайды, вафли чипінде жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз етеді. Біздің өнім бәсекеге қабілетті бағаға ие, бұл оны көптеген тұтынушыларға қолжетімді етеді. Біз көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтыймыз және біздің команда клиенттерге тамаша қызмет көрсету мен қолдау көрсетуге арналған. Біз Wafer Epitaxy үшін жоғары сапалы және сенімді MOCVD Cover Star Disc Plate қамтамасыз етуде сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуға тырысамыз.
Вафельді эпитаксияға арналған MOCVD қақпағының жұлдызды дискі тақтасының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
мкм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Фелексальды күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Жас модулі |
Gpa (4pt иілу, 1300℃) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Вафельді эпитаксияға арналған MOCVD мұқабасының жұлдызды дискі тақтасының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз