SiC қапталған MOCVD сенсоры

Semicorex - SiC қапталған MOCVD сусепторының жетекші өндірушісі және жеткізушісі. Біздің өнім пластинкадағы эпитаксиалды қабатты өсіру үшін жартылай өткізгіш өнеркәсіптерге арнайы әзірленген. Жоғары тазалықтағы кремний карбидімен қапталған графит тасымалдағышы MOCVD-де тісті немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Біздің қабылдағышымыз MOCVD жабдығында кеңінен қолданылады, бұл жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті және төтенше ортада үлкен тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

SiC қапталған MOCVD сусцепторының ең маңызды ерекшеліктерінің бірі - ол қабыршақтануды болдырмай, барлық бетті жабуды қамтамасыз етеді. Өнім 1600 ° C дейін жоғары температурада тұрақты болып табылатын жоғары температурада тотығуға төзімділікке ие. Жоғары тазалыққа жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыруын қолдану арқылы қол жеткізіледі. Өнімнің қышқылдан, сілтіден, тұздан және органикалық реагенттерден коррозияға төзімділігін арттыратын ұсақ бөлшектері бар тығыз беті бар.
Біздің SiC қапталған MOCVD қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік беретін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісін қамтамасыз етеді. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі. Semicorex бәсекеге қабілетті баға артықшылығын ұсынады және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біздің команда клиенттерге тамаша қызмет көрсету және қолдау көрсетуге арналған. Біз сіздің бизнесіңіздің өсуіне көмектесетін жоғары сапалы және сенімді өнімдерді ұсына отырып, сіздің ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға дайынбыз.

Parameters of SiC Coated MOCVD Susceptor

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

SiC қапталған MOCVD сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік беру
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз