MOCVD үшін кремний карбидті жабын графитті сенсоры

Subicorex - бұл сенімді жеткізуші және MOCVD үшін кремний карбидінің графиттік гипсептінің өндірушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің вафли чипіндегі эпитаксиалды қабатты өсіру қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Өнім MOCVD-де тісті доңғалақ немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Ол жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD үшін кремний карбиді жабынымен қапталған графит сенсоры оны бәсекелестерден ерекшелендіретін бірнеше негізгі мүмкіндіктерге ие. Ол қабыршақтануды болдырмай, барлық бетті жабуды қамтамасыз етеді және жоғары температурада тотығуға төзімділікке ие, тіпті 1600 ° C дейін жоғары температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Өнім жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық буларды тұндыру арқылы жоғары тазалықпен жасалған. Оның майда бөлшектері бар тығыз беті бар, бұл оны қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттерден коррозияға өте төзімді етеді.
MOCVD-ге арналған кремний карбиді жабынының графит сенсоры жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Ол кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмайды, вафли чипінде жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз етеді.

MOCVD үшін кремний карбиді жабынының графит сусцепторының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін кремний карбиді жабынының графиттік сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз