Кремний карбиді графитті субстрат MOCVD суссепторы

Semicorex кремний карбиді графиттік субстрат MOCVD сусепторы - жоғары өнімділік пен беріктікті қамтамасыз ете алатын жоғары сапалы тасымалдаушыны іздейтін жартылай өткізгіш өндірушілер үшін ең жақсы таңдау. Оның жетілдірілген материалы біркелкі термиялық профильді және ламинарлы газ ағынының үлгісін қамтамасыз етіп, жоғары сапалы пластиналарды береді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Біздің кремний карбидті графит субстратымыз MOCVD сіңіргіші жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған, өнімнің біркелкілігі мен консистенциясын қамтамасыз етеді. Ол сондай-ақ коррозияға өте төзімді, беті тығыз және ұсақ бөлшектері бар, бұл оны қышқылға, сілтіге, тұзға және органикалық реагенттерге төзімді етеді. Оның жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі 1600°C-қа дейінгі жоғары температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Кремний карбиді графит субстратының MOCVD сусцепторы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Кремний карбиді графит субстратының MOCVD сусепторының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC қапталған графит сусцепторының ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз