MOCVD үшін SiC сенсоры

Semicorex - MOCVD үшін SiC Susceptor жетекші өндірушісі және жеткізушісі. Біздің өнім жартылай өткізгіш өнеркәсібінің вафли чипіндегі эпитаксиалды қабатты өсіру қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Өнім MOCVD-де тісті доңғалақ немесе сақина тәрізді дизайнымен орталық тақта ретінде пайдаланылады. Ол жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие, бұл оны төтенше ортада пайдалану үшін өте қолайлы етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

MOCVD үшін SiC Susceptor – бірнеше негізгі мүмкіндіктері бар жоғары сапалы өнім. Ол қабыршақтануды болдырмай, барлық бетті жабуды қамтамасыз етеді және жоғары температурада тотығуға төзімділікке ие, тіпті 1600 ° C дейін жоғары температурада тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Өнім жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жоғары тазалықпен жасалған. Оның майда бөлшектері бар тығыз беті бар, ол қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттерден коррозияға өте төзімді етеді.
MOCVD үшін SiC қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне кепілдік беруге арналған. Ол кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмайды, вафли чипінде жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз етеді.

MOCVD үшін SiC Susceptor параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

MOCVD үшін SiC Susceptor ерекшеліктері

- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз